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X線用ベリリウム窓

X線用ベリリウム窓

本製品は従来不可能であった金属ベリリウムとステンレス母材との直接接合を行い、接合部の真空気密性を極度に向上させたもので、高真空気密を要求される部分のX線透過窓として広く使用できます。

特長

水冷式ベリリウム窓
  • 極薄ベリリウムにも対応できます。
  • ベリリウム窓取り付け後、装置を高温でベーキングすることができます。
  • 真空フランジ水冷タイプも用意しておりますので従来の空冷の必要がありません。
  • ろう付けと同時に脱ガス処理を行っていますので、高真空で使用しても部品からガス発生はありません。
  • 従来の真空フランジに銅ガスケットを使用し固定可能です。

ベリリウム金属の特性

ベリリウム金属

ベリリウム薄板はX線透過性に優れ、同じ厚さのアルミニウムの17倍、リンデマンガラスの6〜10倍も良く、X線管球窓・X線ディテクター用窓に使用されています。 特に最近注目を浴びているX線リソグラフィーのX線源用窓に非常に薄い窓材が要求されており、まさにその要求にマッチした製品といえます。
なお、ベリリウム金属の硬度は鋼材の1.5倍、アルミニウムの4倍、密度はアルミニウムの約1/3で、比熱は金属中最大であり、他金属にはみられない独特の性質があります。

各種ベリリウム製品 製作例

  • 各種ベリリウム窓の製作が可能です。また、いずれのメーカーのベリリウムも取り扱っています。
Beウィンドウ・水冷ミラー及びBe窓付きチャンバー製作例
Beウィンドウ・水冷ミラー及びBe窓付きチャンバー製作例

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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