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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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その他各種取扱製品

真空部品・コンポーネント

真空ポンプ,真空計,真空バルブ,ビューポートなどの真空部品・コンポーネントを紹介!

真空部品・コンポーネント ラインナップ

真空ポンプ

アジレント(バリアン)の真空ポンプは、イオンポンプの発明(1957年)を起源としており、米・マサチューセッツ州レキシントン及びイタリア・トリノの両工場が長年蓄積してきた確かな技術を基に、イオンポンプ以外にもターボ分子ポンプやドライスクロールポンプなど幅広い真空ポンプを取り扱っています。

真空ゲージ(真空計)

アジレント(バリアン)の真空ゲージ(真空計)は、1台で複数のゲージを簡単に操作できる「マルチゲージコントローラ」を筆頭に、センサー電子回路一体型ゲージ等、ポンプとゲージの最良の組み合わせを構築することができます。

真空バルブ

大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブです。 株式会社パスカルはゲートバルブをはじめ、用途に応じた様々な真空バルブを取り扱っています。

リークディテクタ

アジレント(バリアン)のリークディテクタは、ワンプッシュでオペレーション可能な全自動タイプから、簡単に持ち運び可能なポータブル対応まで取り揃えておりますので、アプリケーションに最適な製品をご提供します。

真空シール剤

真空シール剤とは、真空システムの真空リークを封じするためのリークシール剤のことです。 金属,セラミックス,ガラスに対して強力な接着力があり、真空システムのシール剤のみならず、デバイスの接着剤としても幅広く利用されています。

電流導入端子

真空チャンバー内部と外部とを電気的に接続するための端子です。 セラミックと金属の接合封着技術を用いており、高気密性を有しています。

各種フランジ・真空配管部品

ICF,NW等各種フランジおよび接続部品、そしてガスケットやクランプ,フレキシブルチューブ,ベローズなど様々な真空用配管部品を取り扱っています。 納期につきましては即納体制をとっております。(なお、納期をお問い合わせいただければ、より確実です。) また、規格品以外の「形状・サイズ」に付いてもご相談下さい。

超高真空ビューイングポート(ビューポート)

真空チャンバーの覗き窓およびレーザ照射窓として用いられる超高真空用ビューポートです。 表面のガラス面とフランジ面が同じ厚みであるゼロレングスの超高真空ビューイングポートであり、石英窓やコバール(KODIAL)ガラス窓,MgF2結晶窓等、さまざまな窓材からお選び頂けます。

X線用ベリリウム窓等

X線用ベリリウム窓など、金属ベリリウムの特性を利用した各種機械加工製品です。 高真空対応となっており、水冷タイプなどの対応も可能です。

X線・紫外線用極薄フォイル

金属箔等極薄フォイルのニーズは、研究・実験機器においてX線や紫外線のフィルターなど様々な用途として急速に拡大しています。 株式会社パスカルは、極薄フォイルの世界的メーカー 米国LEBOW社の販売代理店として皆様の研究開発をサポートしています。

超高真空機器・導入機

各種直線・回転導入機,トランスファーロッド,多軸マニピュレーター等を取り扱っています。 下記以外にもモーター駆動式など多種類用意しております。 特注仕様も承りますのでお気軽にご相談下さい。

  • ミニ直線導入機
  • ミニ回転導入機
  • 直線/回転導入機
  • 直線導入機 70〜250
  • トランスファーロッド 300〜1200
  • ビューポート用シャッター
  • X−Yステージ
  • XYZRCマニピュレーター
  • 大型XYZマニピュレーター etc.

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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