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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

表面分析装置

真空搬送システム

真空部品・コンポーネント

その他各種取扱製品

超高真空機器・導入機

各種直線・回転導入機,トランスファーロッド,多軸マニピュレーター等を取り扱っています。 下記以外にもモーター駆動式など多種類用意しております。 特注仕様も承りますのでお気軽にご相談下さい。

超高真空機器・導入機 ラインナップ

ミニ直線導入機

ミニ直線導入機

ミニ回転導入機

ミニ回転導入機

直線/回転導入機

直線/回転導入機

直線導入機 70〜250mm

直線導入機 70〜250mm

トランスファーロッド 300〜1200mm

トランスファーロッド 300〜1200mm

ビューポート用シャッター

ビューポート用シャッター

X−Yステージ

X−Yステージ

XYZRCマニピュレーター

XYZRCマニピュレーター

大型XYZマニピュレーター

大型XYZマニピュレーター

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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