全自動リークディテクタ
HLDシリーズ
シンプルかつ容易な操作性と、フレキシブルな装置構成、多言語サポート、さらにコンパクトかつ軽量設計により、あらゆる環境への対応を実現したマススペクトロメータ方式リークディテクタです。
HLDシリーズは、お客様のアプリケーションに最適な製品をご提案できます。
ここからサイトの主なメニューです
真空薄膜形成装置 / 成膜装置
表面分析装置
真空搬送システム
真空部品・コンポーネント
- 真空ポンプ
- 真空ゲージ（真空計）
- 真空バルブ
- リークディテクタ
- 真空シール剤
- 電流導入端子
- 各種フランジ・真空配管部品
- 超高真空ビューイングポート（ビューポート）
- Ｘ線用ベリリウム窓等
- X線・紫外線用極薄フォイル
- 超高真空機器・導入機
その他各種取扱製品
関連技術情報
特長
容易な操作 - 2ボタン操作
- 2ボタン操作のシンプルな構成と、先進的なエキスパートシステムの頭脳が統合されています。
- 最先端の分光計と真空システムデザインにより、高性能と特定アプリケーションのための様々なテスト方法を提供します。
- 様々なオプションにより、装置構成をフレキシブルに変更し、あらゆるアプリケーションの要求とテスト環境への対応を実現しました。
- 先進の堅牢なデザインにより、最も厳しい業界基準にも適合し、最も厳しい環境での運用においても高い信頼性を発揮します。
製品一覧
ポータブルタイプ
 |
項目 | PR02 | PD03 |
|---|---|---|---|
| 最小検出感度 | 2x10-5Pa・m3/s | ||
| 最大テスト可能圧力 | 1330Pa | ||
| 粗引きポンプ排気速度（50Hz） | 2mm3/h，33.3L/min | 3mm3/h，50L/min | |
| 粗引きポンプ型式 | DS40M（RP） | IDP-3（DSP） | |
モバイルタイプ
 |
項目 | MR15 | MD15 | MR30 | MD30 |
|---|---|---|---|---|---|
| 最小検出感度 | 2x10-5Pa・m3/s | ||||
| 最大テスト可能圧力 | 1330Pa | ||||
| 粗引きポンプ排気速度（50Hz） | 15mm3/h，250L/min | 30mm3/h，500L/min | |||
| 粗引きポンプ型式 | DS302（RP） | IDP-15（DSP） | DS602（RP） | TriScroll620（DSP） | |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。