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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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ゲージコントローラ

XGS-600,AGC-100,AGD-100,RGCシリーズ

ゲージコントローラ

アジレント(バリアン)のゲージコントローラは、低価格な「ラフゲージコントローラ」から1台で複数のゲージを簡単に操作できる「マルチゲージコントローラ」まで、さまざまなニーズに対応することができます。

また、Websiteに掲載しているアジレントの真空ゲージ以外に各社の真空ゲージも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

特長

XGS-600(ゲージコントローラ)

XGS-600ゲージコントローラ

1台で最大12個の真空計を動作でき、5個のキーパッドで操作も非常に簡単です。 センサーはTCゲージ,コンベクションゲージ,コールドカソードゲージ,ホットフィラメントゲージおよびアクティブゲージと組み合わせて操作が可能です。
(組み合わせ方法は別途、お問い合わせ下さい。)

  • 1台のコントローラで、最大12個のセンサーを動作可能
  • 最大8個までセンサーを1画面に表示
  • 遠方からの視認性を高めるための拡大表示機能付き
  • 最大8個のセットポイントを設定可能
  • セットポイントのレスポンスは20msec以下
  • Pa / Torr / mbar 表示の切り替え可能
  • アナログ出力、IO 及び RS232C 通信を標準装備
  • 脱ガス機能付き(ホットフィラメントゲージのみ)
  • 簡単にゲージカードを増設可能

AGC-100(アクティブゲージコントローラ)

アクティブゲージコントローラ

アクティブゲージ専用のシングルチャンネルコントローラです。FRG-7xx,PVG-50x,PCG-75x,CDG-500 のうち1個の真空計と組み合わせて操作が可能です。

  • 1個のアクティブゲージを動作・表示可能
  • アクティブゲージ接続を自動認識
  • Pa / Torr / mbar 表示の切り替え可能
  • セットポイントの調整可能
  • RS232C 通信を標準装備

AGD-100(アクティブゲージ表示器)

アクティブゲージ表示器

アクティブゲージ専用のシングルチャンネル表示器です。FRG-700/FRG-702,PVG-50x,PCG-75x のうち1個の真空計と組み合わせて圧力表示が可能です。

  • 1個のアクティブゲージを表示
  • アクティブゲージ接続を自動認識
  • Pa / Torr / mbar 表示の切り替え可能
  • セットポイントの調整可能

RGC-100(ラフゲージコントローラパッケージ)

ラフゲージコントローラパッケージ

ボード型コントローラーと531TCゲージを組み合わせた低価格低真空測定パッケージです。プレキャリブレーションにより面倒な初期設定が不要になっています。

  • ボード型コントローラーと531TCゲージのパッケージ
  • 測定圧力範囲 : 1x10-1Pa - 1x105Pa,1.5x10-3Torr - 760Torr
  • NIST標準を用いて工場出荷時にプレキャリブレーション済み
  • Torr / mbar 表示のいずれかを選択可能
  • 任意のセットポイント設定可能

RGC-150(ラフゲージコントローラパッケージ)

ラフゲージコントローラパッケージ

据え置き型コントローラーと531TCゲージを組み合わせた低価格低真空測定パッケージです。プレキャリブレーションにより面倒な初期設定が不要になっています。

  • 据え置き型コントローラーと531TCゲージのパッケージ
  • 測定圧力範囲 : 1x10-1Pa - 1x105Pa,1.5x10-3Torr - 760Torr
  • NIST標準を用いて工場出荷時にプレキャリブレーション済み
  • Torr / mbar / kPa 表示の切り替え可能
  • 任意のセットポイント設定可能

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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