ゲートバルブ
超高真空（UHV）対応のゲートバルブです。 どの方向でも装着可能なマウンティングタイプであり、スムーズな作動のためほとんど振動がありません。
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真空薄膜形成装置 / 成膜装置
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- 各種フランジ・真空配管部品
- 超高真空ビューイングポート（ビューポート）
- Ｘ線用ベリリウム窓等
- X線・紫外線用極薄フォイル
- 超高真空機器・導入機
その他各種取扱製品
関連技術情報
特長
- 低価格
- 高品質
- 低ノイズ，低振動
- 簡単メンテナンス
主な仕様
| 材質 |
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| 作動タイプ |
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| 耐熱温度 |
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| リークレート |
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| ポートサイズ | 1.5"， 2.5"， 4"， 6"， 8"， 10" etc. | ||||||||
| フランジ種類 | ICF， NW， ASA，JIS | ||||||||
| マウンティングポジション | どの方向でも装着可能 （但し大口径ポートは垂直または水平方向に限る） | ||||||||
| メンテナンスサイクル | 100,000サイクル または 1年 | ||||||||
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。