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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

表面分析装置

極低温冷凍機システム

真空部品・コンポーネント

その他各種取扱製品

ゲートバルブ

ゲートバルブ

超高真空(UHV)対応のゲートバルブです。 どの方向でも装着可能なマウンティングタイプであり、スムーズな作動のためほとんど振動がありません。

特長

  • 低価格
  • 高品質
  • 低ノイズ,低振動
  • 簡単メンテナンス

主な仕様

材質
ボディ,ゲート,ボンネット SUS 300シリーズ
エアーシリンダー アルミニウム
溶接ベローズ AM350(オーステナイト系ステンレス鋼)
ボンネットシール メタル / バイトン
ゲートシール バイトン
作動タイプ
■ 圧空式
エアープレッシャー 70〜100psig (4.9〜7kgf/cm2
※ 大口径ポート : 80〜100psig (5.6〜7kgf/cm2
エアースピードコントロールバルブ
位置表示器(OPTION) 20mA AC 110V/220V, 20mA DC 24V
■ 手動式
回転ハンドルタイプ
耐熱温度
ボディ 250℃(メタル)
150℃(バイトン)
ゲート 150℃
作動部 60℃
リークレート
ボディ 7.5×10-10Torr L/s(メタル)
7.5×10-10Torr L/s(バイトン)
ポートサイズ 1.5", 2.5", 4", 6", 8", 10" etc.
フランジ種類 ICF, NW, ASA,JIS
マウンティングポジション どの方向でも装着可能 (但し大口径ポートは垂直または水平方向に限る)
メンテナンスサイクル 100,000サイクル または 1年
性能向上等のため予告なく仕様を変更することがありますので予めご了承ください。

新製品情報

2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年9月
【極低温冷凍機システム】
寒材フリー型真空・低温プローバー
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2020年9月8日〜11日
【併設展示】
第81回応用物理学会秋季学術講演会(於:同志社大学 今出川校地)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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