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ディフュージョンポンプ（油拡散ポンプ）

AX-65 / HSシリーズ / VHSシリーズ / NHS-35

ディフュージョンポンプ（油拡散ポンプ）

世界的に定評のあるアジレント（バリアン）のディフュージョンポンプ（油拡散ポンプ）です。

空冷仕様の小型ポンプAX-65を始め、真空炉に使用される35インチ大型ポンプ等、バリエーション豊富な製品から用途に応じた最適なポンプを提供いたします。

特長

  • 65〜50,000Ｌ/ｓの幅広い排気速度レンジの製品ラインナップから、システムに最適な一台をお選びいただけます。
  • 同サイズで市場最高水準の排気能力を備えたポンプは、システムのサイクルタイムの向上に貢献します。
  • 前5種類の中から用途に沿って最良のパフォーマンスを実現できるオイルを選択いただけます。用途に応じて選べる5種類のオイルは、最良のポンプパフォーマンスを実現させます。
  • ポンプに必要不可欠な高性能トラップおよびバッフルもご用意してあります。

製品一覧

AX-65

AX-65 項目 仕様
排気速度 (Air) 65L/s
最大スループット 25Pa-L/s
操作圧力範囲 3.9x10-1Pa - 6.5x10-6Pa

HS-2

HS-2 項目 仕様
排気速度 (Air) 160L/s
最大スループット 80Pa-L/s
操作圧力範囲 4.9x10-1Pa - 6.5x10-6Pa

VHS-4

VHS-4 項目 仕様
排気速度 (Air) 750L/s
最大スループット 2.0x102Pa-L/s
操作圧力範囲 2.7x10-1Pa - 6.5x10-7Pa

VHS-6

VHS-6 項目 仕様
排気速度 (Air) 1,550L/s
最大スループット 3.2x102Pa-L/s
操作圧力範囲 2x10-1Pa - 6.5x10-7Pa

VHS-250

VHS-250 項目 仕様
排気速度 (Air) 2,125L/s
最大スループット 3.5x102Pa-L/s
操作圧力範囲 1.6x10-1Pa - 6.5x10-7Pa

VHS-10

VHS-10 項目 仕様
排気速度 (Air) 3,650L/s
最大スループット 8.4x102Pa-L/s
操作圧力範囲 2.3x10-1Pa - 6.5x10-7Pa

VHS-400

VHS-400 項目 仕様
排気速度 (Air) 4,500L/s
最大スループット 8.4x102Pa-L/s
操作圧力範囲 1.9x10-1Pa - 6.5x10-7Pa

HS-16

HS-16 項目 仕様
排気速度 (Air) 6,000L/s
最大スループット 1.27x103Pa-L/s
操作圧力範囲 1.3x10-1Pa - 6.5x10-6Pa

HS-20

HS-20 項目 仕様
排気速度 (Air) 10,000L/s
最大スループット 1.67x103Pa-L/s
操作圧力範囲 1.7x10-1Pa - 6.5x10-6Pa

HS-32

HS-32 項目 仕様
排気速度 (Air) 17,300L/s
最大スループット 4.0x103Pa-L/s
操作圧力範囲 2.3x10-1Pa - 6.5x10-6Pa

NHS-35

NHS-35 項目 仕様
排気速度 (Air) 28,000L/s
最大スループット 3.3x103Pa-L/s
操作圧力範囲 1.2x10-1Pa - 6.5x10-6Pa

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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