ターボ分子ポンプ
Turbo-Vシリーズ / Turbo-V Navigatorシリーズ / TwisTorrシリーズ
「最小のコストサイズで最高の性能を！」の設計コンセプトで作られたアジレント（バリアン）のターボ分子ポンプです。
長年培ってきた真空技術により、あらゆる点で最高性能を実現しています。
また、Websiteに掲載しているアジレントのターボ分子ポンプ以外に各社のターボ分子ポンプも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
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その他各種取扱製品
関連技術情報
特長
- 70〜2000L/sの幅広い排気速度レンジの製品ラインナップから、システムに最適な一台をお選びいただけます。
- 1800Pa域の極めて高いフォアライン圧力に対応していますので、粗引きポンプの選択肢が広がります。
- 堅牢で軽量な一体型ローター構造の開発・成功はポンプの寿命を飛躍的に向上させ、長時間の連続稼動を可能にしました。
- 360度、どの方向に対して取り付けても問題なく稼動し、設置場所を選びません。
- メンテナンスフリーで、システムのダウンタイムを最小限に押さえられます。
製品一覧
TwisTorr 74 FS
 |
項目 | DN40 | DN63 |
|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ICF70，NW40 | ICF114，ISO 63 | |
| 排気速度 (N2) | 44L/s | 60L/s | |
| 到達圧力 | <5x10-8Pa，<3.8x10-10Torr (粗引き : 84L/min) | ||
TwisTorr 305 FS，TwisTorr 305-IC
 |
項目 | DN100 | DN160 |
|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ICF152，ISO 100 | ICF203，ISO 160 | |
| 排気速度 (N2) | 250L/s | 250L/s | |
| 到達圧力 | 1x10-8Pa，1x10-10Torr (DSP : IDP-3，IDP-7，IDP-10／RP : DS102，DS202) | ||
TwisTorr 404 FS
 |
項目 | DN100 |
|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ICF152，ISO 100K，ISO 100F | |
| 排気速度 (N2) | 355L/s | |
| 到達圧力 | 1x10-8Pa，1x10-10Torr (RP : DS 302, DSP : IDP-10) |
TwisTorr 704 FS
 |
項目 | DN160 |
|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ICF203，ISO 160K，ISO 160F | |
| 排気速度 (N2) | 660L/s | |
| 到達圧力 | <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (RP : DS 302) | |
| <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (DSP : IDP-10,IDP-15) |
TwisTorr 804 FS
 |
項目 | DN200 | DN250 |
|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ICF253，ISO 200K，ISO 200F | ISO 250K，ISO 250F | |
| 排気速度 (N2) | 720L/s | ||
| 到達圧力 | <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (RP : DS 302) | ||
| <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (DSP : IDP-10,IDP-15) | |||
Turbo-V 1001 Navigator
 |
項目 | DN160 | DN200 | DN250 |
|---|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ISO 160 | ICF253，ISO 200，ISO 200F | ISO 250，ISO 250F | |
| 排気速度 (N2) | 790L/s | 950L/s | 1,050L/s | |
| 到達圧力 | <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (RP : DS 402, DSP : IDP-10,IDP-15) | |||
Turbo-V 2300 TwisTorr
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項目 | DN250 |
|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ICF304，ISO 250F | |
| 排気速度 (N2) | 2,050L/s | |
| 到達圧力 | <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (>667L/min 粗引きポンプ) |
Turbo-V 1K-G System
 |
項目 | DN160 | DN200 |
|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ISO 160 | ISO 200 | |
| 排気速度 (N2) | 810L/s | 1,080L/s | |
| 到達圧力 | <1x10-8Pa，<1x10-10Torr (>334L/min 粗引きポンプ) | ||
Turbo-V 2K-G System
 |
項目 | DN250 |
|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ISO 250F | |
| 排気速度 (N2) | 1,600L/s | |
| 到達圧力 | <1x10-6Pa，<1x10-8Torr (>667L/min 粗引きポンプ) |
Turbo-V 3K-G System
 |
項目 | DN250 |
|---|---|---|
| 吸入口フランジ | ISO 250F | |
| 排気速度 (N2) | 2,200L/s | |
| 到達圧力 | <1x10-7Pa，<1x10-9Torr (>667L/min 粗引きポンプ) |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。