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製品紹介

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ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプ

「最小のコストサイズで最高の性能を!」の設計コンセプトで作られたアジレント(バリアン)のターボ分子ポンプです。

長年培ってきた真空技術により、あらゆる点で最高性能を実現しています。

また、Websiteに掲載しているアジレントのターボ分子ポンプ以外に各社のターボ分子ポンプも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

機器構成/アクセサリー

TwisTorr 74 FS 品 番
TwisTorr 74 FSポンプ X3502-64172(ICF114)
X3502-64170(ISO 63)
X3502-64171(NW40)
X3502-64173(ICF70)
TwisTorr 74 FS AG Rackコントローラ X3508-64301
メインケーブル(3m) 9699958
インレットスクリーン X3502-68000(ICF114)
X3502-68001(ISO 63)
9699309(NW40)
9699328(ICF70)
空冷キット 9699290
空冷キット用延長ケーブル(5m) 9699940
TwisTorr 305 FS 品 番
TwisTorr 305 FSポンプ X3513-64009(ICF152)
X3513-64008(ISO 100)
X3513-64011(ICF203)
X3513-64010(ISO 160)
TwisTorr 305 FS Remoteコントローラ X3506-64130(232-485)
X3506-64131(Profibus)
メインケーブル(3m) 9699958
インレットスクリーン 9699302(ICF152)
X3500-68000(ISO 100)
9699304(ICF203)
X3500-68001(ISO 160)
空冷キット X3500-68011
空冷キット用延長ケーブル(5m) 9699940
TwisTorr 704 FS 品 番
TwisTorr 704 FSポンプ X3511-64002(ICF203)
X3511-64000(ISO 160K)
X3511-64001(ISO 160F)
TwisTorr Medium-TMP Rackコントローラ X3501-64016
メインケーブル(3m) 9699958
インレットスクリーン 9699304(ICF203,ISO 160)
空冷キット X3501-68001
空冷キット用延長ケーブル(5m) X3501-68101
TwisTorr 804 FS 品 番
TwisTorr 804 FSポンプ X3511-64011(ICF253-NW25)
X3511-64012(ICF253-NW40)
X3511-64007(ISO 200K-NW25)
X3511-64008(ISO 200K-NW40)
X3511-64009(ISO 200F-NW25)
X3511-64010(ISO 200F-NW40)
X3511-64013(ISO 250K-NW40)
X3511-64014(ISO 250F-NW40)
TwisTorr Medium-TMP Rackコントローラ X3501-64016
メインケーブル(3m) 9699958
インレットスクリーン 9699304(ICF203,ISO 160)
空冷キット X3501-68001
空冷キット用延長ケーブル(5m) X3501-68101
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にないターボ分子ポンプ,水冷キットおよびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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