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製品紹介

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関連技術情報

ロータリーポンプ（油回転ポンプ）

DSシリーズ / HSシリーズ / MS40+

ロータリーポンプ（油回転ポンプ）

多様な産業的および科学的アプリケーションにおける過酷な必要条件を満足するために設計・製造されたアジレント（バリアン）のロータリーポンプ（油回転ポンプ）です。

低騒音、最小オイル逆流量、長いオペレーション寿命といった高い安定性を保証します。

また、Websiteに掲載しているアジレントのロータリーポンプ以外に各社のロータリーポンプも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

特長

  • 低騒音、最小オイル逆流量、長いオペレーション寿命といった高い安定性
  • デュアルステージ（DS，HSシリーズ）とシングルステージ（新MS40+）の選択可

製品一覧

DS 40M

DS 40M 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 37L/min 43L/min
排気速度 30L/min 37L/min
到達圧力 6.7x10-1Pa，5x10-3Torr

DS 102

DS 102 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 95L/min 114L/min
排気速度 83L/min 99L/min
到達圧力 2x10-1Pa，3x10-3Torr

DS 202

DS 202 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 160L/min 192L/min
排気速度 138L/min 164L/min
到達圧力 2x10-1Pa，1.5x10-3Torr

DS 302

DS 302 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 237L/min 285L/min
排気速度 193L/min 232L/min
到達圧力 2x10-1Pa，1.5x10-3Torr

DS 402

DS 402 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 342L/min 410L/min
排気速度 290L/min 348L/min
到達圧力 2x10-1Pa，1.5x10-3Torr

DS 602

DS 602 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 504L/min 605L/min
排気速度 417L/min 498L/min
到達圧力 2x10-1Pa，1.5x10-3Torr

HS 452

HS 452 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 456L/min 456L/min
排気速度 367L/min 436L/min
到達圧力 2x10-1Pa，1.5x10-3Torr

HS 652

HS 652 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 672L/min 672L/min
排気速度 533L/min 634L/min
到達圧力 2x10-1Pa，1.5x10-3Torr

MS40+

MS40+ 項目 50Hz 60Hz
設計排気速度 828L/min 828L/min
排気速度 667L/min 665L/min
到達圧力 5Pa，3.8x10-2Torr

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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