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真空薄膜形成装置 / 成膜装置
表面分析装置
真空搬送システム
真空部品・コンポーネント
- 真空ポンプ
- 真空ゲージ（真空計）
- 真空バルブ
- リークディテクタ
- 真空シール剤
- 電流導入端子
- 各種フランジ・真空配管部品
- 超高真空ビューイングポート（ビューポート）
- Ｘ線用ベリリウム窓等
- X線・紫外線用極薄フォイル
- 超高真空機器・導入機
その他各種取扱製品
関連技術情報
電流導入端子
真空チャンバー内部と外部とを電気的に接続するための端子です。 セラミックと金属の接合封着技術を用いており、高気密性を有しています。
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。