トールシール・チューブタイプ
Torr Seal Tube Type
アジレント（バリアン）のトールシール・チューブタイプは、低蒸気圧樹脂シーラントとエポキシ物質を適切な割合で適正に混合することで真空機器システムの漏れを止めることができます。
このチューブは金属，セラミックス，ガラスの漏れに効果を発揮します。
大気圧から10-9Torrまでの圧力及び−45℃から120℃の温度で使用可能です。
※ 現在材料の供給が不安定なため、在庫の状況次第では長納期となる場合がございます。
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- X線・紫外線用極薄フォイル
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関連技術情報
| 2018年6月29日の毒物及び劇物取締法の改正により、トールシールが劇物該当になりました。該当劇物についての詳細は、別紙（アジレント社からのお知らせ）をご参照下さい。 これを受けまして、2018年10月1日以降、「毒物劇物一般販売業登録票」がない販売店様へのトールシールの販売および出荷が不可となります。 劇物該当品の保管・販売・取り扱いに関しては、最寄りの保健所または担当官公庁にお問い合わせ下さい。 |
概要
本シール剤は、金属，セラミックス及びガラス材のリークシール剤として真空システムに適用できます。
適用
真空システムのシール剤として長期間にわたり、真空封じを実施します。
- 適用例 ： 真空炉，研究機関用チャンバー、スパッタ・真空蒸着装置、真空配管
デバイスの接着剤として利用されます。強力な接着性を生かし、セラミックデバイスやステンレスデバイス等の接着剤としても広く利用されています。
- 適用例 ： ：セラミック電極の取り付け、ガラスデバイスの接着等
特長
- 金属・セラミック・ガラスに対して強い接着能力を有します。
- ソルベントを使用しないシール剤のため、使用後直ちにリークチェックが実施できます。
- 室温において、1〜2時間で硬化します。
- 大気圧から10-9Torrまでの超高真空システムに適用できます。
- 120℃までの焼きだし温度に適合できます。
- 長期間の使用にも充分な信頼性を有します。
主な仕様
| 圧縮強度 | 10,000PSI±20% （25℃） |
| 歪み強度 | 11,000PSI±20% |
| 引張強度 | 5,000PSI±30% |
| 硬化時間 | 1〜2時間（25℃），30分（60℃） |
| 完全乾燥時間 | 24時間（25℃），2時間（60℃） |
| 硬度 | 75〜80Shore D |
| 燃焼ガス | 異常温度による放出ガス ； Nox，CO2，H2O，CO |
| 非粘着物 | テフロン，Kel-F，ナイロン，ポリプロピレン |
| 吸湿性 | 0.3％（24 時間水中没入時） |
| 耐酸化性 | 25℃でSF6 も耐酸化性を有します。 |
| 絶縁定数 | 6.1（25℃，1KHz） |
| 絶縁強度 | 350Volts/mil （mil；1000分の1インチ） |
| 消費要素 | 0.09（25℃，1KHz） |
| 膨張率 | 30.3×10-6 1/℃（30℃〜60℃） |
| 適用温度 | −45℃〜120℃ |
| フラッシュポイント | 175℃ |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。