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真空薄膜形成装置 / 成膜装置

PLD装置,スパッタ装置などの真空成膜装置およびオプションユニット等を紹介!

真空薄膜形成装置 / 成膜装置 ラインナップ

PLD / レーザーMBE装置

株式会社パスカルでは、1995年より、レーザーMBE法を志向したPLD / レーザーMBE装置の開発を行っています。

スパッタ装置

真空チャンバー内の原料ターゲットに電界で加速させたイオンを衝突させて表面原子(分子)を弾き飛ばすスパッタリング現象(Sputtering)を用いた薄膜形成装置です。

電子ビーム蒸着装置

真空中で電子銃から発生する電子ビームをターゲット材料に照射し、加熱・蒸発させ、基板等に薄膜形成する電子ビーム蒸着装置です。

基板・ターゲット材料等

真空装置での成膜に必要な基板やターゲット材料などに関しても扱っています。

真空装置用関連治具等
  • MBE用Kセル、Moホルダー
  • 各種単結晶機基板研磨・加工
  • MOCVD、MBE装置治具精密洗浄
  • 半導体レーザーチップ 及び 赤外LED

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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