ここからサイトの主なメニューです

PLD自動制御システム

TL-SFT

PLD自動制御システム

本システムは、パスカル製 PLD / レーザーMBE装置の基板加熱温度,ターゲット選択,ターゲット自転・揺動,コンビナトリアルマスク位置,基板回転などの制御に加え、アブレーションレーザーの発振なども同期制御が可能となっています。

これにより各機能のマニュアル制御のみならず成膜レシピをスクリプトとして作成・実行することで、一連の成膜プロセスを自動で行うことができます。

主な機能

  • 基板加熱温度制御
  • アブレーションレーザー発振制御
  • 集光レンズ位置制御
  • アッテネーター角度制御(レーザー照射強度調整)
  • ターゲット選択
  • ターゲット自転・揺動制御(ターゲット面内均一照射対応)
  • ターゲットZ軸制御
  • 基板回転・角度制御
  • 基板シャッター開閉制御
  • コンビナトリアルマスク位置制御
  • プロセス圧力・ガス流量制御(マスフローコントローラ自動調整)
  • モニター・ログ操作
  • CCD画像表示切替
  • 排気系操作(真空ポンプON/OFF,バルブ開閉およびベーキング制御:誤操作防止機能付き)
  • スクリプト編集・実行
メイン画面サブ画面
  • 注)装置構成やオプションにより、制御できる内容が異なります

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2018年10月31日〜11月2日
【併設展示】
第47回結晶成長国内会議(JCCG-47)(於:仙台市戦災復興記念館)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
  • ページの先頭に戻る