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マグネトロンスパッタガン

SPGシリーズ

マグネトロンスパッタガン

従来のマグネトロン放電領域を低圧力側に2桁以上拡張した超低圧力対応のマグネトロンスパッタガンです。

今まで不可能であった他の蒸着法との併用が可能となり、高純度の薄膜を得ることができます。

また、小型 かつ フランジマウントとなっており、メンテナンスが容易です。

RFスパッタにおいては従来と同等のマグネトロンスパッタを行うことができます。

既存の装置にも容易に取り付けることが可能で、各成膜実験を行うことができます。

特長

  • 不純物混入の少ない高品質膜が得られます。
  • ターゲットへの再付着が減少するため、異物発生が抑えられます。
  • 主ポンプへの負担を軽減できます。
  • スパッタ粒子間衝突による拡散がなく、ターゲット利用効率が向上します。
  • 垂直成分が増加するため、ステップカバレッジが向上します
  • 超高真空装置への組込ができ、他の蒸発源と併用することができます。
リモートコントローラー放電特性・成膜速度グラフ

主な仕様

型式 ターゲットサイズ 取付フランジ パワー
SPG-001 φ29mm ICF70 DC/RF MAX500W
SPG-001-S φ29mm,シャッター付 ICF114 DC/RF MAX500W
SPG-002 φ2”対応 ICF114 DC/RF MAX500W
SPG-002-S φ2”対応,シャッター付 ICF152 DC/RF MAX500W
SPG-003 φ3”対応 ICF152 DC/RF MAX500W

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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