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ターゲット自公転ユニット

PRO-6T / PRO-5T

ターゲット自公転ユニット

ターゲットの自転およびターゲット交換のための公転などの機構を持つユニットです。 本ユニットは、外部から照射されるレーザー等のターゲット材を装着するよう設計されています。 ターゲットは種類の違う材料を5または6種類入れることができ、それぞれが常に回転することが可能です。 またターゲットの選択も容易にできます。 このターゲットステージは機構のマニュピレ−ターに乗っており、微妙な調節も可能です。

主な仕様

PRO-6T PRO-5T
サンプル数 φ20mm×6個 φ20mm×5個
クリアポジション 1ヶ所 1ヶ所
自転機構 マグネットカップリング モーター駆動
公転機構 手動 または 高精度ステッピングモーター駆動
上下機構 40mmストローク 手動 (オプション : モーター駆動)
X-Y機構 なし ±10mm 手動
基板観察窓 ICF70ビューポート付属 なし
取付フランジ ICF203 ICF114

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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