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RHEEDユニット

RHD-30K-034

RHEEDユニット

本ユニットは超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析(RHEED)システムです。

コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから取り付けやメンテナンスが容易になっています。

また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。

特長

電子銃・制御電源
  • UHV対応 : 200℃ベーキング可能
  • 30kV 対応かつコンパクトな制御電源
  • 1Pa台まで使用可能な差動排気設計
  • 2段差動排気(オプション)により100Pa台でのモニター可能
  • スキャンコイル(オプション)による電子線スキャニングで、同一条件での多数回折が可能

標準構成・各種オプション

RHEED標準構成 (差動排気RHEED)

差動排気RHEED
  • RHEED 電子銃 : ICF34フランジマウント、加速電圧30kV(最大)
  • 高圧電源およびリモートコントローラー
  • 差動排気用ターボ分子ポンプ
  • 標準的な円形蛍光スクリーン : ICF152フランジ用 または ICF203フランジ用

高圧条件下RHEED観察用オプション (2段差動排気RHEED)

2段差動排気RHEED
  • 2段差動排気ステージ : 電子ビームガイドの位置(X-Y軸,チルト)調整機構付き
  • 高圧条件下RHEED像観察用小丸近接スクリーン : φ30mm
  • 高圧条件下RHEED像観察用可動スクリーン

サンプル面内スキャン機能用オプション (スキャニングRHEED)

スキャニングRHEED
  • 電子ビーム面内平行スキャンコイルおよびドライバ

RHEED画像処理用オプション

  • RHEED画像処理ソフトウェア : CCD カメラによる画像取り込みとデータ処理
CCDカメラRHEED画像処理ソフトウェア

標準仕様

1.電子銃

加速電圧 最大30kV (常用25kV)
フィラメント タングステン(W)ヘアピン
出射電子ビーム径 φ0.5mm
電子ビーム偏向 φ0.3mm以下
偏向 コイル偏向,XY軸 2方向
電子銃本体ベーキング Max 200℃
寸法 / 取り付けフランジ 長さ310mm x 径43mm(突起部含まず)/ ICF34フランジマウント
差動排気ポート ICF34フランジ

2.高圧電源

出力電圧 0〜30KV 可変
出力安定度 出力変動 0.5 % 以下
リモートコントローラー リモコンボックスにて電子銃操作のパラメータ調整可能
寸法 幅480mm x 奥行400mm x 高さ150mm (JISラックマウント)
入力 AC 100V,単相

3.蛍光スクリーン

スクリーン 蛍光剤P-1(P-47),ICF152・ICF203対応,シャッター付き

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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