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モバイルコンビレーザーMBE装置

MC-LMBE

モバイルコンビレーザーMBE装置

コンビができる、小さい、高機能、完全PC制御

本装置は超高真空環境において、合成石英窓を介して導入されたパルスレーザーの光をターゲットに照射して、対向する基板上に薄膜を堆積させるレーザーMBE装置です。 さらに、スキャニングRHEEDと2つのコンビナトリアルマスクを用いて、成長を原子レベルで制御しながら、一枚の基板上に異なる条件の試料を一括作製することが可能です。

コンビナトリアル成膜の概念は、一枚の基板上をマスキングによって複数の堆積領域に区画し、種々の成膜パラメータを系統的に変化させた薄膜を作製することにより、条件探索を短時間で行なうものです。 また、ロードロック室ユニットを標準装備しており、ターゲットや基板の交換を簡単に行なうことができます。

特長

  • 操作性の高いコンパクトな超高真空システム
  • 到達真空度 6.7×10-7Pa以下(5×10-9Torr)
  • モーター駆動コンビナトリアルマスク2枚を装着
  • 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニット
  • 6種類のターゲットが使用可
  • スキャニングRHEEDを標準装備
  • ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換
  • 完全コンピュータ制御
モバイルコンビレーザーMBE装置

主な仕様

成膜室および真空排気系
チャンバー形状 : φ260mm 球形
到達真空度 : 6.7×10-7Pa以下(5×10-9Torr)
セラミックベアリングターボポンプ 250L/s
ターゲット自公転ユニット
φ20mm×6軸
自転・公転モーター駆動(PC制御)
基板加熱ユニット
半導体レーザー基板加熱ユニット
基板サイズ : □10mm
基板加熱温度 : 1,200℃以上
コンビナトリアルマスクユニット モーター駆動マスク 2枚
RHEEDユニット
スキャニングRHEED
RHEED画像処理システム
ロードロック室ユニット
チャンバー形状 : φ114mm×250mmH 円柱形
傾斜機構付きトランスファーロッド
収納数 : 基板ホルダー2個,ターゲットホルダー4個
共通仕様
電源・コントロールラック(JIS規格準拠)一体型チャンバーフレーム
PLD自動制御システム(PCおよび制御ソフトウェア)

主なオプション

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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