ここからサイトの主なメニューです

電子ビーム蒸着装置

真空中で電子銃から発生する電子ビームをターゲット材料に照射し、加熱・蒸発させ、基板等に薄膜形成する電子ビーム蒸着装置です。

電子ビーム蒸着装置 ラインナップ

電子ビーム蒸着装置

電子ビーム蒸着装置

本装置は、超高真空環境においてEBガンに印加することで金属や酸化物などの薄膜および混合薄膜(同時蒸着)を作成することができる真空蒸着装置です。

さらに抵抗加熱蒸着にも変更できるような構造を有しております。(同時不可)

エバポレーター蒸着装置

エバポレーター蒸着装置

本装置は、金属や半導体のロッド状材料を電子ビーム加熱することで、単原子層やエピタキシャル薄膜などを作成することができるエバポレーターを用いた真空蒸着装置です。

フィードバック回路により設定値に対し±3%以内といった高いフラックス安定性を備えており、数十nA〜数μAオーダーのフラックスを長時間保つことができます。

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
  • ページの先頭に戻る