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分子線セル(クヌーセンセル)

K-CELL

分子線セル(クヌーセンセル)

ルツボ内の原料をヒーターによって加熱・蒸発させることで、基板に分子線エピタキシー(Molecular Beam Epitaxy : MBE)蒸着させるための分子線セルです。

温度や原料,用途によってPBNや石英などのルツボ材質、タングステンやタンタルなどのヒーター材質を選択できます。

特長

  • ガス放出の少ない材料を使用しています。
  • 標準でシャッターが付きます。
  • 出荷検査時、高温脱ガス処理を行い真空保管しておりますので、装置装着後の脱ガスの必要はありません。

主な仕様

昇温可能温度 最高1300℃(PBNルツボ)
使用可能真空度 10-4 Pa 以下
ルツボ容量 5〜100cc
ルツボ材質 PBN,石英
取り付けフランジ ICF70 〜 ICF152
シャッター 手動,自動
熱電対 W/Re 5-26
ヒーター材質 タングステン,タンタル,他

その他の分子線セル

  • クラッキングセル,ガスソースセル,イオン化セル・・・・他多数

オプション

  • 加熱電源(PID制御,DC出力)
  • 金,銀コーティングガスケット仕様

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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