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表面分析装置

原子散乱分光法や二次イオン質量分析法などを用いた特色のある表面分析装置を紹介!

表面分析装置 ラインナップ

原子散乱分光法 / イオン散乱分光法

イオン散乱分光法(ISS)、特に同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は試料表面の元素分析,構造解析に有力な分析手法です。 株式会社パスカルは、このCAICISS法をさらに発展させ、イオンビームではなく電気的に中性な原子ビームを用いた原子散乱表面分析装置を開発しました。

二次イオン質量分析法

二次イオン質量分析法(SIMS)は、イオン(一次イオン)ビームを試料表面に照射し、スパッタリング現象により発生するイオン(二次イオン)を質量分離することで、表面構成元素を高感度かつ高分解能に測定することができます。 電気的に中性な原子ビームを用いた飛行時間型-原子散乱表面分析装置は、応用機能として簡易SIMS測定が可能です。

電子線回折法

電子には波の性質があるため、電子線が結晶表面に入射すると表面近傍の結晶の周期性を反映させた回折パターンを生成します。 試料表面に対して浅い入射角で高速の電子線を入射させて反射した回折電子を観察する方法を反射高速電子線回折法(RHEED)とよび、試料表面に対して垂直に低エネルギーの電子線を入射させて後方散乱された回折電子を観察する方法を低速電子線回折法(LEED)とよびます。

光電子分光法 / オージェ電子分光法

試料表面に一定のエネルギーをもつ光(または電子)を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子(またはオージェ電子)の数と運動エネルギーを観測することにより、試料表面の元素分析や化学結合状態を調べることができます。

顕微法

細く集光させたレーザーや電子線、もしくは探針(プローブ)で試料表面を走査することにより、試料表面の高解像度な顕微鏡像を得ることができます。

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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