飛行時間型原子散乱表面分析装置
TOFLAS-3000
原子散乱表面分析装置による応用機能 : 簡易SIMS
二次イオン質量分析法（Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS）は、イオン（一次イオン）ビームを試料表面に照射し、スパッタリング現象により発生するイオン（二次イオン）を質量分離する分析手法であり、絶縁体表面に関しては入射イオンによる帯電（チャージアップ）効果のため、分析が困難でした。
電気的に中性な原子ビームを用いた飛行時間型-原子散乱表面分析装置は、応用機能として簡易SIMS測定を行うことが可能であり、これにより絶縁体表面の高感度かつ高分解能な元素分析を実現しました。
