光電子分光法 / オージェ電子分光法

X線光電子分光法（XPS または ESCA）は、真空中で試料表面にX線を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態（電子の結合エネルギー）を調べる分析手法です。

これにより、表面から数nm〜10nm程度の深さまでの領域の構成元素の同定や定量分析、さらに化学結合状態（単体か化合物かの区別）の判別などができます。

紫外線光電子分光法（UPS または ESCA）は、真空中で試料表面に紫外線を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の価電子状態（価電子の結合エネルギー）を調べる分析手法です。

これにより、表面から数m程度の深さまでの領域の吸着分子の結合状態やバンド構造，仕事関数の評価などができます。

オージェ電子分光法（AES）は、真空中で試料表面に電子線を照射することによって試料中の電子が外に飛び出します。そのうちオージェ効果によって放出されたオージェ電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態（電子の結合エネルギー）を調べる分析手法です。

これにより、表面から数nm程度の深さまでの領域の構成元素の同定や定量分析などができます。