X線光電子分光装置（XPS または ESCA）
X線光電子分光法（X-ray Photoelectron Spectroscopy : XPS または Electron Spectroscopy for Chemical Analysis : ESCA）は、真空中で試料表面にX線を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態（電子の結合エネルギー）を調べる分析手法です。
これにより、表面から数nm〜10nm程度の深さまでの領域の構成元素の同定や定量分析、さらに化学結合状態（単体か化合物かの区別）の判別などができます。
また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。
