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X線光電子分光装置(XPS または ESCA)

X線光電子分光装置(XPS または ESCA)

X線光電子分光法(X-ray Photoelectron Spectroscopy : XPS または Electron Spectroscopy for Chemical Analysis : ESCA)は、真空中で試料表面にX線を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態(電子の結合エネルギー)を調べる分析手法です。

これにより、表面から数nm〜10nm程度の深さまでの領域の構成元素の同定や定量分析、さらに化学結合状態(単体か化合物かの区別)の判別などができます。

また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。

特長

  • 水素(H),ヘリウム(He)以外の全ての元素が検出可能。
  • 化学結合状態に関する情報を得ることができます。
  • 分析深さ : 表面から数nm〜10nm程度。
  • 導体だけでなく、絶縁体も測定可能(厳密には電子放出によって徐々に帯電(チャージアップ)します)。

PLDとXPS・UPS(ESCA)との複合装置例

PLD-XPS-UPS複合装置例

成膜チャンバー

  • コンパクトレーザーMBE PAC-LMBE

分析チャンバー

  • チャンバー寸法 : 直径φ260mm 球形
  • 到達真空度 : 8×10-7Pa以下
  • サンプルステージ : X-Y-Z および θ

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2018年10月31日〜11月2日
【併設展示】
第47回結晶成長国内会議(JCCG-47)(於:仙台市戦災復興記念館)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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