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二次イオン質量分析法

二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)は、イオン(一次イオン)ビームを試料表面に照射し、スパッタリング現象により発生するイオン(二次イオン)を質量分離することで、表面構成元素を高感度かつ高分解能に測定することができます。

株式会社パスカルは、電気的に中性な原子ビームを用いた原子散乱表面分析装置の応用機能として、簡易SIMS測定を可能としました。

二次イオン質量分析法

飛行時間型原子散乱表面分析装置

原子散乱表面分析装置の応用機能 : 簡易SIMS

従来の二次イオン質量分析法(SIMS)では、イオン(一次イオン)ビームを試料表面に照射していたため、絶縁体表面に関しては入射イオンによる帯電(チャージアップ)効果のため、分析が困難でした。

電気的に中性な原子ビームを用いた飛行時間型-原子散乱表面分析装置は、応用機能として簡易SIMS測定を行うことが可能であり、これにより絶縁体表面の高感度かつ高分解能な元素分析を実現しました。

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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