オージェ電子分光装置（AES）
オージェ電子分光法（AES）は、真空中で試料表面に電子線を照射することによって試料中の電子が外に飛び出します。そのうちオージェ効果によって放出されたオージェ電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態（電子の結合エネルギー）を調べる分析手法です。
これにより、表面から数nm程度の深さまでの領域の構成元素の同定や定量分析などができます。
また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。
