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オージェ電子分光装置(AES)

オージェ電子分光装置(AES)

オージェ電子分光法(AES)は、真空中で試料表面に電子線を照射することによって試料中の電子が外に飛び出します。そのうちオージェ効果によって放出されたオージェ電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態(電子の結合エネルギー)を調べる分析手法です。

これにより、表面から数nm程度の深さまでの領域の構成元素の同定や定量分析などができます。

また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。

特長

  • 水素(H),ヘリウム(He)以外の全ての元素が検出可能。
  • 化学結合状態に関する情報を得ることができます。
  • 分析深さ : 表面から数nm程度。
  • 電子線を微細に絞ることで微小領域の分析が可能。
  • 電子線を走査することにより2次元情報を得ることも可能。

PLDとLEED・AESとの複合装置例

PLD-LEED-AES複合装置例

成膜チャンバー

  • スタンダードPLD ST-PLD

分析チャンバー

  • チャンバー寸法 : φ150mm×150mmH
  • 到達真空度 : 10-7Pa以下
  • サンプルステージ : X-Y-Z

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2018年10月31日〜11月2日
【併設展示】
第47回結晶成長国内会議(JCCG-47)(於:仙台市戦災復興記念館)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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