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関連技術情報
電子線回折法
電子には波の性質があるため、電子線が結晶表面に入射すると表面近傍の結晶の周期性を反映させた回折パターンを生成します。
試料表面に対して浅い入射角で高速の電子線を入射させて反射した回折電子を観察する方法を反射高速電子線回折法（Reflection High Energy Electron Diffraction : RHEED）とよび、試料表面に対して垂直に低エネルギーの電子線を入射させて後方散乱された回折電子を観察する方法を低速電子線回折法（Low Energy Electron Diffraction : LEED）とよびます。
反射高速電子線回折法（RHEED）は、真空中で10〜50keV程度の電子線を試料表面に浅い角度で入射させ、試料表面の結晶格子で回折した反射図形を検出することで結晶表面の状態を調べる分析手法です。
RHEEDで入射する電子線は試料表面から数原子層程度しか侵入しないため表面状態に極めて敏感であり、主に結晶性，表面の平坦性，表面構造の情報が得られます。
低速電子線回折装置（LEED）は、真空中で数eV〜数百eV程度の電子線を試料表面に垂直に入射させ、試料表面の結晶格子で回折した後方散乱図形を検出することで結晶表面の構造を調べる分析手法です。
LEEDで入射する電子線は試料表面から数nm程度しか侵入しないため表面状態に極めて敏感であり、主に結晶性，表面構造の情報が得られます。
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。