共焦点レーザー顕微鏡
共焦点レーザー顕微鏡（Confocal Laser Scanning Microscopy）は、光源から照射されるレーザーを対物レンズを用いて試料表面で焦点（ビームスポット）に絞り、試料表面から発せられる蛍光を焦点（ピンホール）を通して光検出器で検出する共焦点方式を採用したレーザー顕微鏡のことです。
このレーザーを試料面上に走査することによって、従来の顕微鏡よりも鮮明で高解像度なイメージが得られます。
また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。
