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共焦点レーザー顕微鏡

共焦点レーザー顕微鏡

共焦点レーザー顕微鏡(Confocal Laser Scanning Microscopy)は、光源から照射されるレーザーを対物レンズを用いて試料表面で焦点(ビームスポット)に絞り、試料表面から発せられる蛍光を焦点(ピンホール)を通して光検出器で検出する共焦点方式を採用したレーザー顕微鏡のことです。

このレーザーを試料面上に走査することによって、従来の顕微鏡よりも鮮明で高解像度なイメージが得られます。

また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。

特長

  • レーザーによる高速スキャン。
  • 共焦点光学系による高解像度・高コントラスト画像。
  • サンプル加熱機構による表面状態の変化を録画再生可能。

PLDと共焦点レーザー顕微鏡との複合装置例

PLD-LM複合装置例

バイオレットレーザー顕微鏡 : レーザーテック社製 VL2000DX

  • 方式 : レーザーコンフォーカル(共焦点)顕微鏡
  • 波長 : 408nm
  • ピクセルサイズ : 400万画素(2048x2048)
  • ピクセル分解能 : 0.03μm ※100倍対物レンズ使用時
  • 解像力 : 0.14μm
  • 高さ測定 : 測定再現性(σ)0.02μm
  • XY線幅測定 : 測定再現性(3σ)0.02μm
  • 録画再生機能 : 10時間動画
  • 描画速度 : 最速120フレーム/sec

サンプル加熱機構 : 半導体レーザー基板加熱ユニット

  • レーザー種 : ファイバーカップリング式半導体レーザー
  • レーザー波長 : 808nm
  • レーザー最大出力 : 140W
  • 最高到達温度 : 1200℃

分析チャンバー

  • チャンバー寸法 : 190mm角×87mmH
  • 到達真空度 : 10-5Pa以下
  • サンプルステージ : X-Y

成膜チャンバー

  • コンパクトレーザーMBE PAC-LMBE

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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