走査型プローブ顕微鏡（SPM）
走査型プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microscope : SPM）は、微小な探針（プローブ）を用いて試料表面をなぞるように走査することで、試料表面の微細な構造を観察できます。
SPMには、微少な電流（トンネル電流）を利用する走査型トンネル顕微鏡（STM）や、原子間力を利用する原子間力顕微鏡（AFM）などの種類があり、これらは空間分解能が極めて高く、超高真空下では原子レベル以下の表面凹凸を観察することができます。
また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。