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紫外線光電子分光装置(UPS または ESCA)

紫外線光電子分光装置(UPS または ESCA)

紫外線光電子分光装置(Ultra-violet Photoelectron Spectroscopy : UPS または Electron Spectroscopy for Chemical Analysis : ESCA)は、真空中で試料表面に紫外線を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態(電子の結合エネルギー)を調べる分析手法です。

これにより、表面から数m程度の深さまでの領域の吸着分子の結合状態やバンド構造,仕事関数の評価などができます。

また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。

特長

  • 価電子帯の電子の状態密度に関する情報を得ることが可能。
  • 試料表面の電子構造(仕事関数)を求めることが可能。
  • 分析深さ : 表面から数nm程度。
  • 導体だけでなく、絶縁体も測定可能(厳密には電子放出によって徐々に帯電(チャージアップ)します)。

PLDとXPS・UPS(ESCA)との複合装置例

PLD-XPS-UPS複合装置例

成膜チャンバー

  • コンパクトレーザーMBE PAC-LMBE

分析チャンバー

  • チャンバー寸法 : 直径φ260mm 球形
  • 到達真空度 : 8×10-7Pa以下
  • サンプルステージ : X-Y-Z および θ

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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