紫外線光電子分光装置（UPS または ESCA）
紫外線光電子分光装置（Ultra-violet Photoelectron Spectroscopy : UPS または Electron Spectroscopy for Chemical Analysis : ESCA）は、真空中で試料表面に紫外線を照射することによって試料中の電子を外に飛び出させ、その放出された光電子の数と運動エネルギーを観測することにより、試料の電子状態（電子の結合エネルギー）を調べる分析手法です。
これにより、表面から数m程度の深さまでの領域の吸着分子の結合状態やバンド構造，仕事関数の評価などができます。
また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。
