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走査型電子顕微鏡(SEM)

走査型電子顕微鏡(SEM)

走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope : SEM)は、電子銃から照射される電子線を電場や磁場を用いて試料表面で焦点(ビームスポット)に絞り、試料表面から発せられる二次電子や反射電子などを検出器で検出することで試料表面の様々な情報を得ることができます。

この電子線を試料面上に走査することによって、試料表面の微細な構造や形態、組成の違いが画像として観察できます。

また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。

特長

  • 細く収束した電子線による数nm〜数十nmの微細構造観察。
  • 光学顕微鏡に比べて焦点深度が2桁以上深いため、広範囲に焦点の合った立体像が得られます。
  • 電子線照射時に放出される特性X線を利用した元素分析も可能(EDS,WDS)。
  • 後方散乱電子回折を利用した結晶性試料の方位解析も可能(EBSD)。

PLDとSEMとの複合装置例

準備中

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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