走査型電子顕微鏡（SEM）
走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope : SEM）は、電子銃から照射される電子線を電場や磁場を用いて試料表面で焦点（ビームスポット）に絞り、試料表面から発せられる二次電子や反射電子などを検出器で検出することで試料表面の様々な情報を得ることができます。
この電子線を試料面上に走査することによって、試料表面の微細な構造や形態、組成の違いが画像として観察できます。
また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。