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原子散乱分光法 / イオン散乱分光法

イオン散乱分光法(Ion Scattering Spectroscopy : ISS)、特に数keV程度の低エネルギーのイオンを用いる低速イオン散乱分光法(Low Energy Ion Scattering Spectroscopy : LEISSLEIS または ISS)は、表面最近傍にきわめて敏感であり、かつ元素分析と構造解析が同時にリアルタイム観測できるという優れた特徴を有する分析手法です。 その中でも散乱角180°で直衝突して散乱してくる粒子のみを測定する手法を同軸型直衝突イオン散乱分光法(Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy : CAICISS)とよび、より詳細で定量的な表面の組成および原子配列の解析が可能なため、多くの半導体,金属表面の構造解析に利用されています。

株式会社パスカルは、このCAICISS法をさらに発展させ、入射プローブとしてイオンビームではなく電気的に中性な原子ビームを用いた原子散乱表面分析装置を開発しました。

原子散乱分光法 / イオン散乱分光法

飛行時間型原子散乱表面分析装置

“世界初!”電気的に中性な原子ビームの採用で、絶縁体表面の分析や電場・磁場中での「その場分析」が可能

イオン散乱分光法(ISS)、特に同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は、半導体,金属表面の構造解析に有力な分析手法ですが、絶縁体表面に関しては入射イオンによる帯電(チャージアップ)効果のため、信頼性のある分析が困難で未開拓の領域となっていました。

株式会社パスカルは、このCAICISS法をさらに発展させ、入射プローブとしてイオンではなく電気的に中性な原子ビームを用いた飛行時間型-原子散乱表面分析装置を開発し、半導体,金属のみならず絶縁体表面の組成および原子配列の解析も可能としました。

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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