原子散乱分光法 / イオン散乱分光法

イオン散乱分光法（Ion Scattering Spectroscopy : ISS）、特に数keV程度の低エネルギーのイオンを用いる低速イオン散乱分光法（Low Energy Ion Scattering Spectroscopy : LEISS，LEIS または ISS）は、表面最近傍にきわめて敏感であり、かつ元素分析と構造解析が同時にリアルタイム観測できるという優れた特徴を有する分析手法です。 その中でも散乱角180°で直衝突して散乱してくる粒子のみを測定する手法を同軸型直衝突イオン散乱分光法（Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscopy : CAICISS）とよび、より詳細で定量的な表面の組成および原子配列の解析が可能なため、多くの半導体，金属表面の構造解析に利用されています。

株式会社パスカルは、このCAICISS法をさらに発展させ、入射プローブとしてイオンビームではなく電気的に中性な原子ビームを用いた原子散乱表面分析装置を開発しました。