本装置は、同軸型直衝突イオン散乱分光法（CAICISS）の測定原理を応用し、入射プローブにイオンではなく電気的に中性な原子ビームを用いた表面分析装置です。
装置は大きく分けてイオン源、イオンの中性化室、分析室および散乱粒子の検出器から構成されています。イオン源で発生したイオンはパルス化電極を用いてパルス化されます。パルス状イオンは中性化室に入り中性化(元の原子状態に戻す)されます。中性化された原子ビームは分析室内の分析試料の表面で散乱されます。散乱された原子ビームのうち、入射方向とほぼ逆方向のものだけが検出器に達し、それらのエネルギーと頻度が飛行時間（TOF）分析法により計測されTOFスペクトルを得ることができます。
散乱された原子ビームのエネルギーは散乱に寄与した表面原子の質量に依存するため、TOFスペクトルによって、試料表面の元素分析を行うことができます。

この手法が他の表面分析法に比べて特に優れている点は、最表面原子層の終端元素を特定することができることです。入射原子ビームは、表面原子に散乱されることでシャドーコーンと呼ばれる入射原子ビームが入り込めない領域ができます。第１原子層により作られるシャドーコーンに第２原子層、第３原子層の原子が覆われている場合、原子ビームは第１原子層からしか散乱を受けないため、第１原子層のみの元素分析を行うことができます。
また、原子ビームの入射角（極角）・方位角を変化させ、その時のTOFスペクトルの散乱強度の角度依存性を調べることにより、最表面近傍の結晶構造解析を行うことができます。

プローブ粒子

プローブガス（原子）	He，Ne，Ar
加速エネルギー	0.5−5keV
ビームサイズ	φ2mm（オプションにより変更可能）

中性化室

中性化用ガス	He，Ne，Ar（プローブガスと同じ）
中性化効率	50%以上（He）
原子ビーム強度モニター機能	オプション

散乱粒子検出

検出器	マイクロチャンネルプレート（MCP）3段、有効径φ20
検出立体角	0.05str

真空系

分析室到達圧力	〜10-6Pa以下
分析室排気システム	ターボ分子ポンプ，スクロールポンプ，チタンサブリメーションポンプ

試料駆動系

XYZ平行移動	手動（X：±5mm，Y：±5mm，Z：±10mm）
極角・方位角回転	PC制御（極角：±90°，方位角：±180°）

計測系

単一TOFスペクトル測定	フルスケールレンジ 1〜100,000カウント（任意設定） ストップパルス待受時間 10〜50μsec（連続可変）
単一TOFスペクトル測定時間	標準20sec以下（待受時間：10μsecで入射パルス数100万の場合）
極角スキャン範囲	-90°〜90°／最小ステップ角 0.1°
方位角スキャン範囲	-180°〜180°／最小ステップ角 0.1°
スキャンモニター	角度毎の信号強度のその場モニター機能（積分領域任意設定）
全方位スキャン（極点図）	10x10，50x50，100x100，200x200
時間変化測定	タイマールーチンモード，連続モード

PC

OS	Windowsシリーズ

ユーティリティー

性能向上等のため予告なく仕様を変更することがありますので予めご了承ください。

本体寸法	1660mmW x 750mmD x 1655mmH
本体重量	250Kg
分析チャンバー寸法	φ300mm
電源	AC100V　1φ　20A（50/60Hz）