基板・ターゲット材料等

新製品情報

2021年3月

【真空搬送システム】
クラスターシステム

2020年2月

【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS

2017年3月

【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構

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イベント情報

2022年9月20日〜23日

【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）

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トピックス

2021年5月1日

関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。

2018年12月17日

茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。

2013年10月31日

文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。

2011年4月15日

原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。

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