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コンビナトリアルマスクユニット

COMBI-SM / COMBI-LM

コンビナトリアルマスクユニット

1枚の基板上にあらゆる組み合わせの薄膜を一括形成させるコンビナトリアル成膜をするためのコンビナトリアルマスクの位置制御ユニットです。

パスカルでは、新規材料探索・物性解明の効率を向上させるコンビナトリアル成膜装置を世界に先駆けて開発してきました。 その経験を生かして、皆さまの薄膜合成をお手伝いします。

コンビナトリアル成膜例

  • 矩形でパターニングされたマスク板を、基板のごく近傍で成膜中に精密に移動させることで、微小領域に区切られた薄膜パターンを1枚の基板面に形成することができます。
コンビナトリアル成膜例(1)
  • 矩形(三角形)でパターニングされたマスク板を、基板のごく近傍で成膜中に精密に移動させることで、組成が連続的に変化した薄膜パターンを1枚の基板面に形成することができます。
コンビナトリアル成膜例(2)

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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