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コンビナトリアルマスクユニット

COMBI-SM / COMBI-LM

コンビナトリアルマスクユニット

1枚の基板上にあらゆる組み合わせの薄膜を一括形成させるコンビナトリアル成膜をするためのコンビナトリアルマスクの位置制御ユニットです。

パスカルでは、新規材料探索・物性解明の効率を向上させるコンビナトリアル成膜装置を世界に先駆けて開発してきました。 その経験を生かして、皆さまの薄膜合成をお手伝いします。

コンビナトリアル成膜例

  • 矩形でパターニングされたマスク板を、基板のごく近傍で成膜中に精密に移動させることで、微小領域に区切られた薄膜パターンを1枚の基板面に形成することができます。
コンビナトリアル成膜例(1)
  • 矩形(三角形)でパターニングされたマスク板を、基板のごく近傍で成膜中に精密に移動させることで、組成が連続的に変化した薄膜パターンを1枚の基板面に形成することができます。
コンビナトリアル成膜例(2)

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
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イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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