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コンビナトリアルマスクユニット

COMBI-SM / COMBI-LM

コンビナトリアルマスクユニット

1枚の基板上にあらゆる組み合わせの薄膜を一括形成させるコンビナトリアル成膜をするためのコンビナトリアルマスクの位置制御ユニットです。

パスカルでは、て開発効率が指数関数的に加速させることができるコンビナトリアル成膜装置を世界に先駆けて開発してきました。 その経験を生かして、皆さまの薄膜合成をお手伝いします。

カタログ・パンフレット

コンパクトレーザーMBE装置

PASCAL PLD / レーザーMBE装置

コンパクトレーザーMBE装置カタログ

モバイルコンビレーザーMBE装置カタログ

PLD / レーザーMBE装置 設置要領書

RHEED

PASCAL オプションユニット

RHEEDパンフレット

上記以外のカタログ・パンフレットおよび技術資料

上記以外のカタログ・パンフレットおよび技術資料に関するお問い合わせは『カタログ等資料請求フォーム』およびお電話 にて受け付けております。

新製品情報

2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年9月
【極低温冷凍機システム】
寒材フリー型真空・低温プローバー
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2020年9月8日〜11日
【併設展示】
第81回応用物理学会秋季学術講演会(於:同志社大学 今出川校地)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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