コンビナトリアルマスクユニット
COMBI-SM / COMBI-LM
1枚の基板上にあらゆる組み合わせの薄膜を一括形成させるコンビナトリアル成膜をするためのコンビナトリアルマスクの位置制御ユニットです。
パスカルでは、て開発効率が指数関数的に加速させることができるコンビナトリアル成膜装置を世界に先駆けて開発してきました。 その経験を生かして、皆さまの薄膜合成をお手伝いします。
ここからサイトの主なメニューです
真空薄膜形成装置 / 成膜装置
表面分析装置
真空搬送システム
真空部品・コンポーネント
その他各種取扱製品
関連技術情報
カタログ・パンフレット
PASCAL PLD / レーザーMBE装置
コンパクトレーザーMBE装置カタログ
モバイルコンビレーザーMBE装置カタログ
PLD / レーザーMBE装置 設置要領書
- MC-LMBE/ST-LMBE プレインストレーションガイド [日本語 pdf]
上記以外のカタログ・パンフレットおよび技術資料
上記以外のカタログ・パンフレットおよび技術資料に関するお問い合わせは『カタログ等資料請求フォーム』およびお電話 にて受け付けております。
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。