活性原子 / ラジカルビーム源
PAR-114-20-AS
活性原子 / ラジカルビーム源は水素，窒素，酸素などのガスを導入口とRF放電によりラジカルを形成する分解室 及び 基板に照射する噴出口から形成されています。
ここからサイトの主なメニューです
真空薄膜形成装置 / 成膜装置
表面分析装置
真空搬送システム
真空部品・コンポーネント
その他各種取扱製品
関連技術情報
用途
- 酸化膜の形成（酸素原子）
- 窒化膜の形成（窒素原子）
- クリーニング（水素原子）
- 半導体エッチング
- ガスソース MBE
特長
- 超高真空対応
- PBN 放電管（Al2O3 の特注可）
- 高い酸化、及び窒化能を有する
- 安全かつ丈夫な設計
- 低いダメージプロセスの実現
主な仕様
| ガス導入 | バリアブルリークバルブ ICF70 フランジ |
| 導入パイプ | 1／4″SUSパイプ |
| RF分解室 | PBN製 |
| アパーチャ | 標準φ0.2 × n 数 |
| RF放電方式 | 13.56MHz RFコイル放電 |
| 冷却 | 水冷 |
| 取付フランジ | ICF114 |
| シャッター | 回転導入型ニューマチック |
| サイズ | 取付フランジ面一セルトップ：250mm |
| プラズマ室サイズ | φ20 × 150mm |
| プラズマモニタ | 光検出器 |
| RFパワー | 最大 500W：オートチューナー付 |
ユーティリティー
| 冷却水 | 2〜3kg/cm2 5L/min 以上 |
| 電 力 | 1φ 200VAC |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。