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ロードロック室ユニット

LL-PA-C

ロードロック搬ユニット

本ユニットは、ターゲット 及び 基板を大気に曝すことなく真空成膜室とのアクセスを可能としたロードロック室ユニットです。

短時間で超高真空に排気できるポンプを備えており、一つのトランスファー機構で L/L室−真空成膜室間のターゲット 及び 基板の搬送を可能にしています。

特長

  • コンパクトな設計。
  • 回転上下式収納ステージ。
  • 基板2枚,ターゲット4個収納。
  • 瞬便な到達真空(コンパクト化)。
  • 基板及びターゲットの同一搬送。
  • 搬送確認用の大きな覗き窓。

主な仕様

1.ロードロック室

真空チャンバ φ100mm(円筒形)SUS304
到達真空度 10-6 Torr 以下
アクセスハッチ ビューポート付きドア
ゲートバルブ L/L室−成膜室仕切ゲートバルブ
基板収納ステージ 上下動・回転機構(Oリング式)

2.真空排気系

メイン排気 ターボ分子ポンプ:77L/s
補助排気 ロータリーポンプ:90L/m 以上

3.真空容器ポート

排気ポート ICF114
ホルダ導入ポート VF100
ホルダ搬送ポート ICF114
トランスファーポート ICF70
リークポート ICF34
真空計ポート ICF70
覗き窓 ICF114

4.トランスファーロッド

ストローク 約 500mm
トランスファーステージ
ベローズ式
傾き型 : 約 5°
半固定式X-Yステージ

5.真空計

ヌード型B/Aゲージ
ICF70
ベーカブル7.5mケーブル及びヌードゲージ用ボード

ユーティリティー

電源用力 AC100V 1φ 15A
プロセスガス
1/4SWG (N2リーク用)
0.5kgf/cm2

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2018年9月18日〜21日
【併設展示】
第79回応用物理学会秋季学術講演会(於:名古屋国際会議場)
2018年10月3日〜5日
【併設展示】
10th International Workshop on Combinatorial Materials Science and Technology (COMBI2018)(於:メルパルク横浜)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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