モバイルコンビレーザーMBE装置
MC-LMBE
コンビができる、小さい、高機能、完全PC制御
本装置は超高真空環境において、石英窓を介して導入されたパルスレーザーの光をターゲットに照射して、対向する基板上に薄膜を堆積させるレーザーMBE装置です。 さらに、スキャニングRHEEDと2つのコンビナトリアルマスクを用いて、成長を原子レベルで制御しながら、一枚の基板上に異なる条件の試料を一括作製することが可能です。
コンビナトリアル成膜の概念は、一枚の基板上をマスキングによって複数の堆積領域に区画し、種々の成膜パラメータを系統的に変化させた薄膜を作製することにより、条件探索を短時間で行なうものです。 また、ロードロック室ユニットを標準装備しており、ターゲットや基板の交換を簡単に行なうことができます。