RHEEDユニット
RHD-30K-034
本ユニットは超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析(RHEED)システムです。
コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから取り付けやメンテナンスが容易になっています。
また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。
本ユニットは超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析(RHEED)システムです。
コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから取り付けやメンテナンスが容易になっています。
また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。
コンパクトレーザーMBE装置カタログ
モバイルコンビレーザーMBE装置カタログ
PLD / レーザーMBE装置 設置要領書
RHEEDパンフレット
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