ターゲット自公転ユニット
PRO-6T / PRO-5T
ターゲットの自転およびターゲット交換のための公転などの機構を持つユニットです。 本ユニットは、外部から照射されるレーザー等のターゲット材を装着するよう設計されています。 ターゲットは種類の違う材料を5または6種類入れることができ、それぞれが常に回転することが可能です。 またターゲットの選択も容易にできます。 このターゲットステージは機構のマニュピレ−ターに乗っており、微妙な調節も可能です。
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新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。