LEBOW社製極薄フォイル
LEBOW社は20年以上もの間、年間何百枚もの極薄フォイルを生産してきた実績があり、世界中のユーザーに最高品質の極薄フォイルを提供してきました。 この経験から、Al，Be，Zrなどの金属箔をはじめ、AL2O3，TiO2，MgF2などの化合物箔，Teflon，Mylarなどの高分子箔、さらには様々な多層膜極薄フォイルなども製作することが可能です。
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関連技術情報
用途
- 極端紫外線（EUV）フィルター
- 紫外線（UV）フィルター
- Ｘ線フィルター
- Ｘ線透過窓
フォイルの種類
| Material | Element | Material Purity | Foil Thickness (単位：μm) |
|---|---|---|---|
| ALUMINUM | Al | 99.99 % | 0.07〜0.2 ／ 0.2〜10 ／ 12.5 ／ 20 ／ 25 |
| BERYLLIUM | Be | 99.8 % | 0.1〜0.2 ／ 0.2〜0.4 ／ 0.4〜0.5 ／ 0.5〜25 |
| BORON | B | 99.8 % | 0.2〜2 |
| CARBON | C | 99.9 % | 0.01〜1.8（2.0〜400μg/cm2） 1.8〜2.7（4〜600μg/cm2） |
| CHROMIUM | Cr | 99.99 % | 0.1〜4.0 |
| COBALT | Co | 99.9 % | 0.07〜2 ／ 0.2〜3 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| COPPER | Cu | 99.99 % | 0.1〜10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 17 ／ 20 ／ 25 |
| GOLD | Au | 99.99 % | 0.02〜3 ／ 3 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| GERMANIUM | Ge | 99.99 % | 0.4〜8 |
| INDIUM | In | 99.99 % | 0.1〜6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| IRON | Fe | 99.95 % | 0.1〜5 ／ 6 ／ 7.5 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| LEAD | Pb | 99.99 % | 0.5〜3 ／ 3 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 ／ 30 |
| MAGNESIUM | Mg | 99.99 % | 0.5〜25 |
| MANGANESE | Mn | 99 % | 0.5〜2 |
| MOLYBDENUM | Mo | 99.99 % | 1〜4 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 ／ 30 |
| NICKEL | Ni | 99.99 % 99.9 % Includes 5 % Cobalt |
0.05〜5 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| NIOBIUM (Columbium) |
Nb | 99.9 % | 0.5〜3 ／ 3 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| PARYLENE N | Py (-C8H8-) | ----- | 0.1〜15 |
| PLATINUM | Pt | 99.9 % | 5〜25 |
| SELENIUM | Se | 99.99 % | 10〜250 |
| SILICOM | Si | 99.999 % | 0.1〜4 ／ 8 ／ 10 ／ 12 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| SILVER | Ag | 99.99 % | 0.1-5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 25 |
| TANTALUM | Ta | 99.99 % | 1.5 ／ 2 ／ 3 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 7.5 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 |
| TEFLON | PTFE | 99.9 % | 1.3 ／ 4.7 ／ 6 ／ 9.2 ／ 12.5 ／ 19 ／ 25 |
| TIN | Sn | 99.99 % | 0.1〜10 ／ 20 ／ 25 |
| TITANIUM | Ti | 99.9 % | 0.05〜5 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| TUNGSTEN | W | 99.9 % | 5 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| VANADDIUM | V | 99 % | 0.1〜4 ／ 5 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| YTTERBIUM | Yb | 99.9 % | 25 ／ 50 ／ 100 |
| YTTRIUM | Y | 99.9 % | 12.5 ／ 25 ／ 50 |
| ZINC | Zn | 99.99 % | 0.1-3 ／ 3 ／ 4 ／ 5 ／ 6 ／ 7 ／ 8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 ／ 25 |
| ZIRCONIUM | Zr | 99.95 % | 1〜8 ／ 9 ／ 10 ／ 12.5 ／ 15 ／ 20 |
| 上記以外にも様々な極薄フォイルを取り扱っています。 詳細に関してはご相談下さい。 |
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極薄フォイル製作例
各種パッキング ・ 各種リング［フランジ］取り付けもできます。
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
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