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アクティブゲージ

CT-100，PVG-500，PCG-750，FRGシリーズ，CDG-500

アクティブゲージ

アジレント（バリアン）のアクティブゲージは、低真空対応の「ピラニゲージ」，「ピラニ / キャパシタンスゲージ」から超高真空までフルレンジ対応の「コンビネーションゲージ」まで、多数種のゲージの中から最良の一台をご提供いたします。

また、Websiteに掲載しているアジレントの真空ゲージ以外に各社の真空ゲージも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

概要

 
ホットイオン コールドカソード ピラニ または コンベクション キャパシタンスダイアフラム
PVG-500
PCG-750
FRG-700
FRG-720/730
CDG-500
真空レンジ < 超高真空 > < 高真空 > < 中真空 > < 低真空 >
10-8 10-5 10-1 102 105 Pa

特長

PVG-500

PVG-500 マイクロピラニゲージ
測定圧力範囲 : 5x10-2Pa - 1x105Pa，3.8x10-4Torr - 750Torr
  • モジュラージャック付き超小型ラフ真空計
  • さまざまな市場ニーズに対応したステンレスセンサーを採用
  • タングステン（標準：PVG-500）とニッケル（オプション：PVG-502）のフィラメント選択可能
  • 対応コントローラ : XGS-600（アナログインプットカード），AGC-100，AGD-100

PCG-750

PCG-750 ピラニ／キャパシタンスダイアフラムコンビネーションゲージ
測定圧力範囲 : 5x10-3Pa - 1.5x105Pa，3.8x10-5Torr - 1125Torr
  • 小型で機能的なラフ真空計
  • ピラニとキャパシタンスダイアフラム（CDG）のコンビネーションゲージ
  • 交換可能なプラグ＆プレイセンサー
  • タングステン（標準：PCG-750）とニッケル（オプション：PCG-752）のフィラメント選択可能
  • 液晶ディスプレイ（オプション）によりゲージ単体で圧力表示が可能
  • 対応コントローラ : XGS-600（アナログインプットカード），AGC-100，AGD-100

FRG-700

FRG-700 ピラニ／インバーテッドマグネトロンコンビネーションゲージ
測定圧力範囲 : 5x10-7Pa - 1x105Pa，3.8x10-9Torr - 760Torr
  • コンパクトなフルレンジ真空計
  • ピラニとインバーテッドマグネトロン（IMGまたは冷陰極）のコンビネーションゲージ
  • フィラメント消耗がなく経済的
  • 優れた起動特性
  • 対応コントローラ : XGS-600（アナログインプットカード），AGC-100，AGD-100

FRG-720 / FRG-730

FRG-720 ピラニ／ベアード・アルパートコンビネーションゲージゲージ
測定圧力範囲 : 5x10-8Pa - 1x105Pa，3.8x10-10Torr - 760Torr
  • 超高真空対応のフルレンジ真空計
  • ピラニとベアード・アルパート（B-Aまたは熱陰極）のコンビネーションゲージ
  • 長寿命の酸化イットリウム被膜イリジウムフィラメント
  • シングルフィラメント（FRG-720）とデュアルフィラメント（FRG-730）の選択可能
  • 液晶ディスプレイ（オプション）によりゲージ単体で圧力表示が可能
  • 対応コントローラ : XGS-600（アナログインプットカード），AGC-100

CDG-500

CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ
測定圧力範囲（フルスケール） : 1.33x105Pa, 1000Torr
　　　　　　　　　　　　　　　1.33x104Pa, 100Torr
　　　　　　　　　　　　　　　1.33x103Pa, 10Torr
　　　　　　　　　　　　　　　1.33x102Pa, 1Torr
  • 4桁以上の高い分解能を有したフルスケール真空計
  • 高真空域におけるハイレベルな精度
  • 高純度アルミナセラミックダイアフラム使用
  • 長期間における優れた安定性と再現性
  • 対応コントローラ : XGS-600（アナログインプットカード），AGC-100

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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