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高真空排気システム

TPS-mini / TPS-compact / TPS-mobile / TPS-flexy

高真空排気システム

ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプ(またはロータリーポンプ)を組み合わせたアジレント(バリアン)の高真空排気システムです。

コンパクトで操作性に優れており、低コストでお手軽に高真空環境を提供することができます。

また、Websiteに掲載しているアジレントの高真空排気システム以外に各社の高真空排気システムも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

特長

  • ニュージェネレーションのターボ分子ポンプを搭載(TwisTorr 84 FS / TwisTorr 304 FS etc.)。
  • 最新型のドライスクロールポンプ IDP-3 を搭載可能(TPS-compact)。
  • パーティクル等の拡散を防止するためのアイソレーションバルブ付。
  • 圧力セットポイントを出力可能。
  • 軽量・コンパクト、ドライ仕様の丈夫なシステム(TPS-mini,TPS-compact)。

製品一覧

TPS-mini

TPS-mini 項目 KF40 ISO 63 CFF4.5"
吸入口フランジ NW40 ISO63 ICF114
ターボ分子ポンプ TwisTorr 84 FS
粗引きポンプ 10L/min ダイアフラムポンプ
排気速度 (N2) 38L/s 52L/s
到達圧力 2x10-5Pa 5x10-6Pa

TPS-compact

DRY TPS-compact 項目 TwisTorr 84 FS-KF40 TwisTorr 84 FS-CFF2.75" TwisTorr 84 FS-ISO63 TwisTorr 84 FS-CFF4.5"
吸入口フランジ NW40 ICF70 ISO 63 ICF114
ターボ分子ポンプ TwisTorr 84 FS
粗引きポンプ IDP-3 ドライスクロールポンプ
排気速度 (N2) 50L/s 77L/s
到達圧力 1x10-6Pa 1x10-7Pa 1x10-6Pa 1x10-7Pa
項目 TwisTorr 304 FS-ISO100 TwisTorr 304 FS-CFF6" TwisTorr 304 FS-ISO160 TwisTorr 304 FS-CFF8"
吸入口フランジ ISO 100 ICF152 ISO 160 ICF203
ターボ分子ポンプ TwisTorr 304 FS
粗引きポンプ IDP-3 ドライスクロールポンプ
排気速度 (N2) 250L/s 280L/s
到達圧力 1x10-6Pa 1x10-7Pa 1x10-6Pa 1x10-7Pa

TPS-mobile

TPS-mobile 項目 TwisTorr 84 FS-DN40 TwisTorr 84 FS-DN63
吸入口フランジ NW40 ISO 63,ICF114
ターボ分子ポンプ TwisTorr 84 FS
推奨粗引きポンプ DSP : IDP-7
RP : DS42 - DS102
排気速度 (N2) 57L/s
到達圧力 5x10-7Pa (DSP)
5x10-8Pa (RP)
項目 TwisTorr 304 FS-DN100 TwisTorr 304 FS-DN160
吸入口フランジ ISO 100,ICF152 ICF203
ターボ分子ポンプ TwisTorr 304 FS
推奨粗引きポンプ DSP : IDP-7,TS300
RP : DS102,DS302,DS402
排気速度 (N2) 180L/s
到達圧力 <5x10-8Pa (DSP)
<5x10-8Pa (RP)
項目 TV551-DN100 TV551-DN160
吸入口フランジ ISO 100, ICF152 ISO 160K,ICF203
ターボ分子ポンプ Turbo-V 551 Navigator
推奨粗引きポンプ DSP : TS300,TS600
RP : DS302,DS402
排気速度 (N2) 550L/s
到達圧力 <1x10-8Pa (DSP)
<1x10-8Pa (RP)

TPS-flexy

TPS-flexy 項目 NW40 ISO63 CF4.5"
吸入口フランジ NW40 ISO 63 ICF114
ターボ分子ポンプ TwisTorr 84 FS
粗引きポンプ MD-1 ダイアフラムポンプ
排気速度 (N2) 38L/s 52L/s
到達圧力 2x10-5Pa 5x10-6Pa
項目 ISO63 CF4.5"
吸入口フランジ ISO 63 ICF114
ターボ分子ポンプ TwisTorr 84 FS
粗引きポンプ IDP-3 ドライスクロールポンプ
排気速度 (N2) 57L/s
到達圧力 1x10-6Pa 1x10-7Pa
項目 ISO100 CF6"
吸入口フランジ ISO 100 ICF152
ターボ分子ポンプ TwisTorr 304 FS
粗引きポンプ IDP-7 ドライスクロールポンプ
排気速度 (N2) 180L/s
到達圧力 <1x10-6Pa <1x10-7Pa

新製品情報

2015年7月
【その他各種取扱製品】
テラヘルツ発生・検出器 (光伝導アンテナ)
2013年10月
【真空部品】
アジレント社製 新型スクロールポンプ IDP-15
2013年7月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 304 FS
2010年9月
【表面分析装置】
飛行時間型原子散乱表面分析装置 TOFLAS-3000
2010年3月
【極低温冷凍機システム】
アクセスドア仕様 光学&電気測定用冷凍機システム 〔小型 4K GM CRYO COOLER〕
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2017年9月5日〜8日
【併設展示】
第78回応用物理学会秋季学術講演会(於:福岡国際センター)

トピックス

2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2013年9月27日
原子散乱表面分析装置 に、関連技術情報3件を掲載しました。
2012年11月1日
茨城事業所(茨城県那珂市)を開設しました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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