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高真空排気システム

TPS-mini / TPS-compact / TPS-mobile / TPS-flexy

高真空排気システム

ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプ（またはロータリーポンプ）を組み合わせたアジレント（バリアン）の高真空排気システムです。

コンパクトで操作性に優れており、低コストでお手軽に高真空環境を提供することができます。

また、Websiteに掲載しているアジレントの高真空排気システム以外に各社の高真空排気システムも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

機器構成／アクセサリー

TPS-mini 品　番
TPS-mini G8703A#020（NW40）
G8703A#021（ISO 63）
G8703A#022（ICF114）
電源ケーブル 9499397
フルレンジゲージキット 9699190（NW40）
9699192（ISO 63）
9699193（ICF114）
TPS-compact 品　番
TPS-compact TwisTorr 84 FS X3580A#010#020#105（NW40，1φ105V）
X3580A#010#027#105（ICF70，1φ105V）
X3580A#010#021#105（ISO 63，1φ105V）
X3580A#010#022#105（ICF114，1φ105V）
TPS-compact TwisTorr 304 FS X3580A#011#023#105（ISO 100，1φ105V）
X3580A#011#024#105（ICF152，1φ105V）
X3580A#011#025#105（ISO 160，1φ105V）
X3580A#011#026#105（ICF203，1φ105V）
電源ケーブル 9698452
フルレンジゲージキット 9699190（NW40）
9699199（ICF70）
9699192（ISO 63）
9699193（ICF114）
9699194（ISO 100）
9699201（ICF152）
9699195（ISO 160）
9699202（ICF203）
インレットスクリーン 9699309（NW40）
9699328（ICF70）
9699300（ISO 63）
9699300（ICF114）
9699302（ISO 100）
9699302（ICF152）
9699304（ISO 160）
9699304（ICF203）
ホイールアクセサリーキット 9698233
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にない高真空排気システムおよびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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