ドライスクロールポンプ
IDPシリーズ / SH-110 / TriScrollシリーズ / TriScroll Inverterシリーズ
コンパクト性・経済性・信頼性を重点に開発されたアジレント（バリアン）のドライスクロールポンプです。
コストパフォーマンスの高い本ポンプは、分析機器をはじめあらゆる分野で高い性能評価を戴いており、安心してご使用いただけます。
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- Ｘ線用ベリリウム窓等
- X線・紫外線用極薄フォイル
- 超高真空機器・導入機
その他各種取扱製品
関連技術情報
特長
- 市場で最も低い到達圧「1.3Pa〜6.6Pa」の実現は、高真空用ポンプにかかる負担を大幅に軽減し、製品寿命を確実に延ばし経済的です。
- オイルフリーです。 システム汚染は一切ありません。
- オートガスバラスト機能は真空度に影響することなく、通常の排気では困難な水分子を、特別操作の必要もなく自動除去してくれます。
- 低振動・低ノイズで、ハイテク機器等の静かな環境下の作業を要するシステムに最適です。
- メンテナンスサイクルが長いため、1年以上に渡る安定した連続オペレーションが可能です。
製品一覧
IDP-3
 |
項目 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 30L/min | 60L/min | |
| 到達圧力 | 33Pa，2.5x10-1Torr | ||
IDP-7
 |
項目 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 120L/min | 152L/min | |
| 到達圧力 | 4.0Pa，3.0x10-2Torr | 2.6Pa，2.0x10-2Torr |
IDP-10
 |
項目 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 170L/min | ||
| 到達圧力 | 2.0Pa，1.5x10-2Torr | ||
IDP-15
 |
項目 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 214L/min | 256L/min | |
| 到達圧力 | 1.3Pa，1.0x10-2Torr | ||
TriScroll 300
 |
項目 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 210L/min | 250L/min | |
| 到達圧力 | 1.3Pa，1.0x10-2Torr | ||
TriScroll 300 Inverter
 |
項目 | 50Hz / 60Hz |
|---|---|---|
| 排気速度 | 250L/min | |
| 到達圧力 | 1.3Pa，1.0x10-2Torr |
TriScroll 600
 |
項目 | 50Hz | 60Hz |
|---|---|---|---|
| 排気速度 | 420L/min | 500L/min | |
| 到達圧力 | 9.3x10-1Pa，7.0x10-3Torr | ||
TriScroll 600 Inverter
 |
項目 | 50Hz / 60Hz |
|---|---|---|
| 排気速度 | 500L/min | |
| 到達圧力 | 9.3x10-1Pa，7.0x10-3Torr |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。