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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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ドライスクロールポンプ

IDPシリーズ / SH-110 / TriScrollシリーズ / TriScroll Inverterシリーズ

ドライスクロールポンプ

コンパクト性・経済性・信頼性を重点に開発されたアジレント(バリアン)のドライスクロールポンプです。

コストパフォーマンスの高い本ポンプは、分析機器をはじめあらゆる分野で高い性能評価を戴いており、安心してご使用いただけます。

機器構成/アクセサリー

IDP-3 品 番
IDP-3 IDP3C01(1φ100V,アワーメータ標準装備)
IDP3C21(1φ100V,アワーメータ・アイソレーションバルブ付き)
電源ケーブル 656458203(1φ)
IDP-7 品 番
IDP-7 X3807-64000 (1φ100V/220-230V,アワーメータ標準装備)
X3807-64010 (1φ100V/220-230V,アワーメータ・アイソレーションバルブ付き)
電源ケーブル 656458203(1φ)
IDP-10 品 番
IDP-10 X3810-64000 (1φ100V/220-230V,アワーメータ標準装備)
X3810-64010 (1φ100V/220-230V,アワーメータ・アイソレーションバルブ付き)
電源ケーブル 656458203(1φ)
IDP-15 品 番
IDP-15 X3815-64000 (1φ100V/220-230V,アワーメータ標準装備)
X3815-64010 (1φ100V/220-230V,アワーメータ・アイソレーションバルブ付き)
電源ケーブル 656458203(1φ)
TriScroll 300 品 番
TriScroll 300 PTS03001UNIV(1φ100V/200-230V,2.5m電源ケーブル標準付属)
VPI アイソレーションバルブ VPI251205060(1φ100-120V,NW25)
TriScroll 300 Inverter 品 番
TriScroll 300 Inverter PTS03001INV(1φ100V/200-240V)
VPI アイソレーションバルブ VPI25INV24DC(24DC,NW25)
電源ケーブル 656458203(1φ)
TriScroll 600 品 番
TriScroll 600 PTS06001UNIV (1φ100V/200-230V,2.5m電源ケーブル標準付属)
VPI アイソレーションバルブ VPI401205060(1φ100-120V,NW40)
TriScroll 600 Inverter 品 番
TriScroll 600 Inverter PTS06001INV(1φ200-240V)
VPI アイソレーションバルブ VPI40INV24DC(24DC,NW40)
電源ケーブル 要お問い合わせ
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にないドライスクロールポンプおよびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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