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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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関連技術情報

VACSEAL

VACSEAL

SPI Supplies 社の VACSEAL は、米国航空宇宙局（NASA）や多くの企業、大学、研究所で長年使用され、信頼性の高い高品質なリークシーラントです。

毒物及び劇物に該当する物質は含まれていないので、保管・販売・取り扱いに関して法律上の規制はありません。

特長

  • 主成分はシリコン樹脂です。
  • 使用温度範囲は－200℃～450℃となっています。
  • 液体窒素に対して安定しています。
  • 高真空、超高真空など真空環境下での使用が可能です。
  • 硬化時間は200℃で30分、250℃で15分、室温で3～4日です。

用途

  • ガラス、セラミックスと金属の接合部のリーク（例：ビューポート窓、電流導入端子、真空ゲージ）
  • UHV装置の金属ガスケット部や溶接部のリーク（例：フランジ、フランジとベロー溶接部）
  • 溶接部の線上のリーク
  • ロウ付部のリーク

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日～23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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  • 更新日：2024年7月22日