ここからサイトの主なメニューです

製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

表面分析装置

真空搬送システム

真空部品・コンポーネント

その他各種取扱製品

関連技術情報

アクティブゲージ

CT-100，PVG-500，PCG-750，FRGシリーズ，CDG-500

アクティブゲージ

アジレント（バリアン）のアクティブゲージは、低真空対応の「ピラニゲージ」，「ピラニ / キャパシタンスゲージ」から超高真空までフルレンジ対応の「コンビネーションゲージ」まで、多数種のゲージの中から最良の一台をご提供いたします。

また、Websiteに掲載しているアジレントの真空ゲージ以外に各社の真空ゲージも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

機器構成／アクセサリー

PVG-500 品　番
PVG-500 マイクロピラニゲージ
（タングステンフィラメント）		 PVG500KF16（NW16）
PVG-500 マイクロピラニゲージ
（タングステンフィラメント，セットポイント付き）		 PVG500KF16S（NW16）
PVG-502 マイクロピラニゲージ
（ニッケルフィラメント，セットポイント付き）		 PVG502KF16S（NW16）
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003（3ft：約1m）
R35893010（10ft：約3m）
R35893025（25ft：約7.5m）
R35893050（50ft：約15m）
AGC-100またはAGD-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103（3m）
AGCCBL105（5m）
AGCCBL110（10m）
PCG-750 品　番
PCG-750 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
（タングステンフィラメント）		 PCG750KF16（NW16）
PCG-750 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
（タングステンフィラメント，セットポイント・液晶ディスプレイ付き）		 PCG750KF16SD1 (NW16，mbar)
PCG750KF16SD2 (NW16，Torr)
PCG750KF16SD3 (NW16，pascal)
PCG-752 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
（ニッケルフィラメント）		 PCG752KF16（NW16）
PCG-752 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
（ニッケルフィラメント，セットポイント・液晶ディスプレイ付き）		 PCG752KF16SD1 (NW16，mbar)
PCG752KF16SD2 (NW16，Torr)
PCG752KF16SD3 (NW16，pascal)
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003（3ft：約1m）
R35893010（10ft：約3m）
R35893025（25ft：約7.5m）
R35893050（50ft：約15m）
AGC-100またはAGD-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103（3m）
AGCCBL105（5m）
AGCCBL110（10m）
ディスプレイ表示で単独使用の場合
電源ケーブル 要お問い合わせ
FRG-700 品　番
FRG-700 ピラニ/IMGコンビネーションゲージ FRG700KF25（NW25）
FRG700CF35（ICF70）
FRG-702 ピラニ/IMGコンビネーションゲージ
（オールメタル／bakeable）		 FRG702KF25（NW25）
FRG702CF35（ICF70）
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003（3ft：約1m）
R35893010（10ft：約3m）
R35893025（25ft：約7.5m）
R35893050（50ft：約15m）
AGC-100またはAGD-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103（3m）
AGCCBL105（5m）
AGCCBL110（10m）
TMP制御用AG Rackコントローラで制御する場合
各種TMP制御用AG Rackラックコントローラ
電源ケーブル 9699958
フルレンジゲージインターフェースケーブル 9699960（3m）
9699961（5m）
FRG-720 / FRG-730 品　番
FRG-720 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
（シングルフィラメント）		 FRG720KF25（NW25）
FRG720CF35（ICF70）
FRG-720 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
（シングルフィラメント，液晶ディスプレイ付き）		 FRG720KF25D（NW25）
FRG720CF35D（ICF70）
FRG-720 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
（シングルフィラメント，セットポイント・Profibus付き）		 FRG720KF25SP（NW25）
FRG720CF35SP（ICF70）
FRG-730 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
（デュアルフィラメント，セットポイント付き）		 FRG730KF25S（NW25）
FRG730CF35S（ICF70）
FRG-730 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
（デュアルフィラメント，セットポイント・液晶ディスプレイ付き）		 FRG730KF25SD（NW25）
FRG730CF35SD（ICF70）
FRG-730 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
（デュアルフィラメント，セットポイント・Profibus付き）		 FRG730KF25SP（NW25）
FRG730CF35SP（ICF70）
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG720/730ゲージケーブル R35913003（3ft：約1m）
R35913010（10ft：約3m）
R35913025（25ft：約7.5m）
R35913050（50ft：約15m）
AGC-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
電源ケーブル 656458203
FRG720/730ゲージケーブル AGCCBL203（3m）
AGCCBL205（5m）
AGCCBL210（10m）
ディスプレイ表示で単独使用の場合
電源ケーブル 要お問い合わせ
CDG-500 品　番
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ（1000Torr） CDG500T1000KF16（NW16）
CDG500T1000VCR8（VCR8）
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ（100Torr） CDG5000T0100KF16（NW16）
CDG500T0100VCR8（VCR8）
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ（10Torr） CDG5000T0010KF16（NW16）
CDG500T0010VCR8（VCR8）
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ（1Torr） CDG5000T0001KF16（NW16）
CDG500T0001VCR8（VCR8）
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
CDGゲージケーブル R35903003（3ft：約1m）
R35903010（10ft：約3m）
R35903025（25ft：約7.5m）
R35903050（50ft：約15m）
AGC-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
電源ケーブル 656458203
CDGゲージケーブル AGCCBL303（3m）
AGCCBL305（5m）
AGCCBL310（10m）
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にない真空ゲージ（真空計）およびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
  • ページの先頭に戻る