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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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アクティブゲージ

CT-100,PVG-500,PCG-750,FRGシリーズ,CDG-500

アクティブゲージ

アジレント(バリアン)のアクティブゲージは、低真空対応の「ピラニゲージ」,「ピラニ / キャパシタンスゲージ」から超高真空までフルレンジ対応の「コンビネーションゲージ」まで、多数種のゲージの中から最良の一台をご提供いたします。

また、Websiteに掲載しているアジレントの真空ゲージ以外に各社の真空ゲージも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

機器構成/アクセサリー

PVG-500 品 番
PVG-500 マイクロピラニゲージ
(タングステンフィラメント)
PVG500KF16(NW16)
PVG-500 マイクロピラニゲージ
(タングステンフィラメント,セットポイント付き)
PVG500KF16S(NW16)
PVG-502 マイクロピラニゲージ
(ニッケルフィラメント,セットポイント付き)
PVG502KF16S(NW16)
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003(3ft:約1m)
R35893010(10ft:約3m)
R35893025(25ft:約7.5m)
R35893050(50ft:約15m)
AGC-100またはAGD-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103(3m)
AGCCBL105(5m)
AGCCBL110(10m)
PCG-750 品 番
PCG-750 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
(タングステンフィラメント)
PCG750KF16(NW16)
PCG-750 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
(タングステンフィラメント,セットポイント・液晶ディスプレイ付き)
PCG750KF16SD1 (NW16,mbar)
PCG750KF16SD2 (NW16,Torr)
PCG750KF16SD3 (NW16,pascal)
PCG-752 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
(ニッケルフィラメント)
PCG752KF16(NW16)
PCG-752 ピラニ/CDGコンビネーションゲージ
(ニッケルフィラメント,セットポイント・液晶ディスプレイ付き)
PCG752KF16SD1 (NW16,mbar)
PCG752KF16SD2 (NW16,Torr)
PCG752KF16SD3 (NW16,pascal)
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003(3ft:約1m)
R35893010(10ft:約3m)
R35893025(25ft:約7.5m)
R35893050(50ft:約15m)
AGC-100またはAGD-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103(3m)
AGCCBL105(5m)
AGCCBL110(10m)
ディスプレイ表示で単独使用の場合
電源ケーブル 要お問い合わせ
FRG-700 品 番
FRG-700 ピラニ/IMGコンビネーションゲージ FRG700KF25(NW25)
FRG700CF35(ICF70)
FRG-702 ピラニ/IMGコンビネーションゲージ
(オールメタル/bakeable)
FRG702KF25(NW25)
FRG702CF35(ICF70)
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル R35893003(3ft:約1m)
R35893010(10ft:約3m)
R35893025(25ft:約7.5m)
R35893050(50ft:約15m)
AGC-100またはAGD-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
AGD-100 アクティブゲージ表示器 AGD100
電源ケーブル 656458203
FRG-700/PVG/PCGゲージケーブル AGCCBL103(3m)
AGCCBL105(5m)
AGCCBL110(10m)
TMP制御用AG Rackコントローラで制御する場合
各種TMP制御用AG Rackラックコントローラ
電源ケーブル 9699958
フルレンジゲージインターフェースケーブル 9699960(3m)
9699961(5m)
FRG-720 / FRG-730 品 番
FRG-720 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
(シングルフィラメント)
FRG720KF25(NW25)
FRG720CF35(ICF70)
FRG-720 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
(シングルフィラメント,液晶ディスプレイ付き)
FRG720KF25D(NW25)
FRG720CF35D(ICF70)
FRG-720 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
(シングルフィラメント,セットポイント・Profibus付き)
FRG720KF25SP(NW25)
FRG720CF35SP(ICF70)
FRG-730 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
(デュアルフィラメント,セットポイント付き)
FRG730KF25S(NW25)
FRG730CF35S(ICF70)
FRG-730 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
(デュアルフィラメント,セットポイント・液晶ディスプレイ付き)
FRG730KF25SD(NW25)
FRG730CF35SD(ICF70)
FRG-730 ピラニ/B-Aコンビネーションゲージ
(デュアルフィラメント,セットポイント・Profibus付き)
FRG730KF25SP(NW25)
FRG730CF35SP(ICF70)
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
FRG720/730ゲージケーブル R35913003(3ft:約1m)
R35913010(10ft:約3m)
R35913025(25ft:約7.5m)
R35913050(50ft:約15m)
AGC-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
電源ケーブル 656458203
FRG720/730ゲージケーブル AGCCBL203(3m)
AGCCBL205(5m)
AGCCBL210(10m)
ディスプレイ表示で単独使用の場合
電源ケーブル 要お問い合わせ
CDG-500 品 番
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ(1000Torr) CDG500T1000KF16(NW16)
CDG500T1000VCR8(VCR8)
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ(100Torr) CDG5000T0100KF16(NW16)
CDG500T0100VCR8(VCR8)
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ(10Torr) CDG5000T0010KF16(NW16)
CDG500T0010VCR8(VCR8)
CDG-500 キャパシタンスダイアフラムゲージ(1Torr) CDG5000T0001KF16(NW16)
CDG500T0001VCR8(VCR8)
XGS-600で制御する場合
XGS-600 ゲージコントローラ XGS600H0M0C0A0
電源ケーブル 656458203
デュアルアナログインプットカード R3487301
CDGゲージケーブル R35903003(3ft:約1m)
R35903010(10ft:約3m)
R35903025(25ft:約7.5m)
R35903050(50ft:約15m)
AGC-100で制御する場合
AGC-100 アクティブゲージコントローラ AGC100
電源ケーブル 656458203
CDGゲージケーブル AGCCBL303(3m)
AGCCBL305(5m)
AGCCBL310(10m)
上記内容は、予告なく変更する場合がございますので予めご了承ください。
また、上記にない真空ゲージ(真空計)およびアクセサリーに関しては弊社までお問い合わせ下さい。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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